公开(公告)号：US20100200767A1

公开(公告)日：2010-08-12

申请号：US12641805

申请日：2009-12-18

申请人： HunJung YI ,  Jae-Won HAHN ,  Seungki CHAE ,  Chang-Hoon OH

发明人： HunJung YI ,  Jae-Won HAHN ,  Seungki CHAE ,  Chang-Hoon OH

IPC分类号： H01J27/00 ,  G02B3/00 ,  G01J3/28 ,  G01B11/14

CPC分类号： G02B21/0028 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/0289 ,  G01J3/443

摘要： An optical apparatus for plasma includes a light collection lens provided to receive optical emission spectrum from plasma, a first aperture stop disposed between the light collection lens and the plasma to block out-focused light, a second aperture stop disposed between the light collection lens and an imaging area of the light collection lens to block in-focused light, and a pinhole disposed at the imaging area of the light collection lens to limit depth of focus.

摘要翻译： 一种用于等离子体的光学装置，包括：用于接收来自等离子体的光发射光谱的光收集透镜;设置在光采集透镜和等离子体之间的第一孔径光阑，以阻挡向外聚焦的光;第二孔径光阑设置在光收集透镜和 聚光透镜的成像区域以遮挡聚焦光，以及设置在聚光透镜的成像区域的针孔，以限制聚焦深度。