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1.发明申请Scanning probe microscope for measuring angle and method of measuring a sample using the same 有权用于测量角度的扫描探针显微镜和使用其测量样品的方法公开(公告)号：US20080073519A1
公开(公告)日：2008-03-27
申请号：US11591794
申请日：2006-11-01
申请人： Hyun Seung Shin , Young Doo Kim , Yong Seok Kim , Sang-il Park
发明人： Hyun Seung Shin , Young Doo Kim , Yong Seok Kim , Sang-il Park
IPC分类号： G01N23/00
摘要： Provided are a scanning probe microscope (SPM) that prevents a distortion of an image caused by alignment errors of scanners and a method of measuring a sample using the same. The scanning probe microscope comprises a probe; a first scanner changing a position of the probe along a straight line; a second scanner changing a position of a sample in a plane; and an adjusting device adjusting a position of the second scanner or the first scanner so that the straight line where the position of the probe is changed using the first scanner is perpendicular to the plane in which the position of the sample is changed using the second scanner.
摘要翻译： 提供了一种扫描探针显微镜（SPM），其防止由扫描仪的对准误差引起的图像变形，以及使用其的测量样品的方法。 扫描探针显微镜包括探针; 第一扫描器沿着直线改变探头的位置; 第二扫描器改变样品在平面中的位置; 以及调节装置，其调节所述第二扫描器或所述第一扫描器的位置，使得使用所述第一扫描仪改变所述探针的位置的所述直线垂直于所述样本的位置使用所述第二扫描器改变的平面 。
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2.发明授权Scanning probe microscope for measuring angle and method of measuring a sample using the same 有权用于测量角度的扫描探针显微镜和使用其测量样品的方法公开(公告)号：US07514679B2
公开(公告)日：2009-04-07
申请号：US11591794
申请日：2006-11-01
申请人： Hyun Seung Shin , Young Doo Kim , Yong Seok Kim , Sang-il Park
发明人： Hyun Seung Shin , Young Doo Kim , Yong Seok Kim , Sang-il Park
摘要： Provided are a scanning probe microscope (SPM) that prevents a distortion of an image caused by alignment errors of scanners and a method of measuring a sample using the same. The scanning probe microscope comprises a probe; a first scanner changing a position of the probe along a straight line; a second scanner changing a position of a sample in a plane; and an adjusting device adjusting a position of the second scanner or the first scanner so that the straight line where the position of the probe is changed using the first scanner is perpendicular to the plane in which the position of the sample is changed using the second scanner.
摘要翻译： 提供了一种扫描探针显微镜（SPM），其防止由扫描仪的对准误差引起的图像变形，以及使用其的测量样品的方法。 扫描探针显微镜包括探针; 第一扫描器沿着直线改变探头的位置; 第二扫描器改变样品在平面中的位置; 以及调节装置，其调节所述第二扫描仪或所述第一扫描仪的位置，使得使用所述第一扫描仪改变所述探针的位置的所述直线垂直于所述样本的位置使用所述第二扫描仪改变的平面 。
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