公开(公告)号：US20130125923A1

公开(公告)日：2013-05-23

申请号：US13738112

申请日：2013-01-10

Applicant: Intermolecular Inc.

Inventor： Anh Duong ,  Sean Barstow ,  Olov Karlsson ,  Bei Li ,  James Mavrinac

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/02052 ,  H01L21/02068 ,  H01L21/28518 ,  H01L29/665

Abstract: A method for cleaning platinum residues from a surface of a substrate is provided. The method initiates with exposing the surface to a first solution containing a mixture of nitric acid and hydrochloric acid. Then, the surface is exposed to a second solution containing hydrochloric acid.

Abstract translation: 提供了从基板的表面清除铂残留物的方法。 该方法首先将表面暴露于含有硝酸和盐酸混合物的第一溶液。 然后，将表面暴露于含有盐酸的第二溶液。