公开(公告)号：US20120219760A1

公开(公告)日：2012-08-30

申请号：US13036922

申请日：2011-02-28

申请人： James F. Detry ,  Robert J. Carlson ,  Pamela Marie Norris ,  Arthur Weston Lichtenberger ,  Roy Matthews ,  Casey Marie Nabors Bauer ,  Matthew Linton Bauer

发明人： James F. Detry ,  Robert J. Carlson ,  Pamela Marie Norris ,  Arthur Weston Lichtenberger ,  Roy Matthews ,  Casey Marie Nabors Bauer ,  Matthew Linton Bauer

IPC分类号： B32B3/26 ,  F16F15/00 ,  H05K7/00

CPC分类号： B81B3/0081 ,  B81B3/0086 ,  B81B7/0012 ,  Y10T428/24496 ,  Y10T428/249953 ,  Y10T428/249981 ,  Y10T428/24999

摘要： An apparatus and method for providing isolation between components in microfabricated devices is provided. In one embodiment, a microfabricated device comprises: a base layer; a microfabricated component; and a non-sacrificial aerogel layer in contact with the microfabricated component and supporting the microfabricated thermal component on the base layer. The non-sacrificial aerogel layer is positioned to provide at least one of thermal, electrical or acoustic isolation between the microfabricated thermal component and the base layer.

摘要翻译： 提供了一种用于提供微加工装置中的部件之间的隔离的装置和方法。 在一个实施例中，微加工装置包括：基层; 微加成分; 以及与所述微细成分接触并且在所述基底层上支撑所述微细加热的热成分的非牺牲气凝胶层。 非牺牲气凝胶层被定位成提供微加工热组分和基层之间的热，电或声隔离中的至少一种。