公开(公告)号：US09163306B2

公开(公告)日：2015-10-20

申请号：US13834721

申请日：2013-03-15

Applicant: Jeong-Won Han

Inventor： Jeong-Won Han

IPC: B05C21/00 ,  H01L51/56 ,  H01L27/00 ,  C23C14/04 ,  H01L27/12

CPC classification number: C23C14/042 ,  B05C21/005 ,  H01L27/124 ,  H01L27/1259 ,  H01L51/56

Abstract: A patterning slit sheet frame assembly includes a patterning slit sheet having a pattern, a patterning slit sheet frame supporting the patterning slit sheet, and a tensile force application unit that applies a tensile force to the patterning slit sheet after the patterning slit sheet is disposed on the patterning slit sheet frame.

Abstract translation: 图案化缝隙片框架组件包括具有图案的图案化缝隙片，支撑图案化缝隙片的图案化缝隙片框架和在图案化缝隙片材布置在其上之后对图案化缝隙片材施加张力的张力施加单元 图案化缝隙片框架。