公开(公告)号：US20110206829A1

公开(公告)日：2011-08-25

申请号：US13101973

申请日：2011-05-05

申请人： Ji Sun LEE ,  Hong Sick PARK ,  Jong Hyun CHOUNG ,  Sun Young HONG ,  Bong Kyun KIM ,  Byeong Jin LEE ,  Byung Uk KIM ,  Jong Hyun JEONG ,  Suk Il YOON ,  Seong Bae KIM ,  Sung Gun SHIN ,  Soon Beom HUH ,  Se Hwan JUNG ,  Doo Young JANG

发明人： Ji Sun LEE ,  Hong Sick PARK ,  Jong Hyun CHOUNG ,  Sun Young HONG ,  Bong Kyun KIM ,  Byeong Jin LEE ,  Byung Uk KIM ,  Jong Hyun JEONG ,  Suk Il YOON ,  Seong Bae KIM ,  Sung Gun SHIN ,  Soon Beom HUH ,  Se Hwan JUNG ,  Doo Young JANG

IPC分类号： C23C16/52 ,  B05D5/12

CPC分类号： G03F7/425

摘要： The present invention provides a stripping composition and a stripping method capable of easily stripping a color resist or an organic insulating film formed on a substrate to reuse the substrate when defects are found during a process of forming the color filter or organic insulating film on the substrate. In one embodiment, the stripping composition includes about 0.5 to about 45 wt % of hydroxide compound, about 10 to about 89 wt % of alkyleneglycolalkylether compound, about 5 to about 45 wt % of alkanolamine compound, and about 0.01 to about 5 wt % of inorganic salt compound. Advantageously, the stripping process can be performed without damaging a thin film transistor of a bottom substrate while removing the color resist or organic insulating film.

摘要翻译： 本发明提供了一种剥离组合物和剥离方法，其能够在形成基板上的滤色器或有机绝缘膜的过程中发现缺陷时容易地剥离形成在基板上的着色抗蚀剂或有机绝缘膜，以重新使用基板 。 在一个实施方案中，汽提组合物包含约0.5至约45重量％的氢氧化物化合物，约10至约89重量％的亚烷基二醇烷基醚化合物，约5至约45重量％的烷醇胺化合物和约0.01至约5重量％的 无机盐化合物。 有利地，可以在不损坏底部基板的薄膜晶体管的同时进行剥离处理，同时移除彩色抗蚀剂或有机绝缘膜。