公开(公告)号：US07934173B2

公开(公告)日：2011-04-26

申请号：US12013999

申请日：2008-01-14

申请人： Jiing-Shin Shyu ,  Tseng Chin Lo

发明人： Jiing-Shin Shyu ,  Tseng Chin Lo

IPC分类号： G06F17/50 ,  G03F1/14

CPC分类号： G03F1/36 ,  G03F1/80 ,  H01L27/0203

摘要： A method of inserting dummy patterns includes providing a window area comprising a main pattern. The main pattern includes first patterns of a first type of features, and second patterns of a second type of features. The first and the second types are different types. The method further includes globally inserting first dummy patterns throughout the window area, wherein the first dummy patterns are dummy patterns of the first type of features; enlarging the main pattern to generate an enlarged main pattern, wherein the enlarged main pattern occupies an enlarged region of the window area; removing the portion of the first dummy patterns in the enlarged region from the first dummy patterns to generate first inversed dummy patterns; and combining the first patterns in the main pattern with the first inversed dummy patterns to generate first mask patterns for the first type of features.

摘要翻译： 插入虚拟图案的方法包括提供包括主图案的窗口区域。 主图案包括第一类型特征的第一图案和第二类型特征的第二图案。 第一类和第二类是不同类型。 该方法还包括在整个窗口区域全局地插入第一虚拟图案，其中第一伪图案是第一类型特征的虚拟图案; 扩大主图案以产生放大的主图案，其中放大的主图案占据窗口区域的扩大区域; 从所述第一伪图案中去除所述放大区域中的所述第一虚设图案的部分，以产生第一反向虚拟图案; 以及将主图案中的第一图案与第一反向虚拟图案组合以产生用于第一类型特征的第一掩模图案。

公开(公告)号：US07853918B2

公开(公告)日：2010-12-14

申请号：US12013999

申请日：2008-01-14

申请人： Jiing-Shin Shyu ,  Tseng Chin Lo

发明人： Jiing-Shin Shyu ,  Tseng Chin Lo

IPC分类号： G06F17/50 ,  G03F1/14

摘要： A method of inserting dummy patterns includes providing a window area comprising a main pattern. The main pattern includes first patterns of a first type of features, and second patterns of a second type of features. The first and the second types are different types. The method further includes globally inserting first dummy patterns throughout the window area, wherein the first dummy patterns are dummy patterns of the first type of features; enlarging the main pattern to generate an enlarged main pattern, wherein the enlarged main pattern occupies an enlarged region of the window area; removing the portion of the first dummy patterns in the enlarged region from the first dummy patterns to generate first inversed dummy patterns; and combining the first patterns in the main pattern with the first inversed dummy patterns to generate first mask patterns for the first type of features.

公开(公告)号：US20090181314A1

公开(公告)日：2009-07-16

申请号：US12013999

申请日：2008-01-14

申请人： Jiing-Shin Shyu ,  Tseng Chin Lo

发明人： Jiing-Shin Shyu ,  Tseng Chin Lo

IPC分类号： G03F1/14 ,  G06F17/50

CPC分类号： G03F1/36 ,  G03F1/80 ,  H01L27/0203

摘要： A method of inserting dummy patterns includes providing a window area comprising a main pattern. The main pattern includes first patterns of a first type of features, and second patterns of a second type of features. The first and the second types are different types. The method further includes globally inserting first dummy patterns throughout the window area, wherein the first dummy patterns are dummy patterns of the first type of features; enlarging the main pattern to generate an enlarged main pattern, wherein the enlarged main pattern occupies an enlarged region of the window area; removing the portion of the first dummy patterns in the enlarged region from the first dummy patterns to generate first inversed dummy patterns; and combining the first patterns in the main pattern with the first inversed dummy patterns to generate first mask patterns for the first type of features.

摘要翻译： 插入虚拟图案的方法包括提供包括主图案的窗口区域。 主图案包括第一类型特征的第一图案和第二类型特征的第二图案。 第一类和第二类是不同类型。 该方法还包括在整个窗口区域全局地插入第一虚拟图案，其中第一伪图案是第一类型特征的虚拟图案; 扩大主图案以产生放大的主图案，其中放大的主图案占据窗口区域的扩大区域; 从所述第一伪图案中去除所述放大区域中的所述第一虚设图案的部分，以产生第一反向虚拟图案; 以及将主图案中的第一图案与第一反向虚拟图案组合以产生用于第一类型特征的第一掩模图案。

公开(公告)号：US20060242168A1

公开(公告)日：2006-10-26

申请号：US11113578

申请日：2005-04-25

申请人： Jacky Lin ,  Hsien-Ying Tseng ,  Ging-Fang Yen ,  Shiun-Huan Lai ,  Chii-ming Wu ,  Jiing-Shin Shyu ,  Jhon-Jhy Liaw ,  Wesley Lin

发明人： Jacky Lin ,  Hsien-Ying Tseng ,  Ging-Fang Yen ,  Shiun-Huan Lai ,  Chii-ming Wu ,  Jiing-Shin Shyu ,  Jhon-Jhy Liaw ,  Wesley Lin

IPC分类号： G06F7/00

CPC分类号： G06F17/30067

摘要： An on-demand data management system. The system comprises a file management module and a demand analysis module. The file management module receives files. Each file has attributes. The file management module segments the files according the attributes. The demand analysis module receives a data demand and selects data from the segmented files according to the data demand.

摘要翻译： 按需数据管理系统。 该系统包括文件管理模块和需求分析模块。 文件管理模块接收文件。 每个文件都有属性。 文件管理模块根据属性对文件进行分段。 需求分析模块接收数据需求，根据数据需求从分段文件中选择数据。

公开(公告)号：US08326832B2

公开(公告)日：2012-12-04

申请号：US11113578

申请日：2005-04-25

申请人： Jacky Lin ,  Hsien-Ying Tseng ,  Ging-Fang Yen ,  Shiun-Huan Lai ,  Chii-ming M. Wu ,  Jiing-Shin Shyu ,  Jhon-Jhy Liaw ,  Wesley Lin

发明人： Jacky Lin ,  Hsien-Ying Tseng ,  Ging-Fang Yen ,  Shiun-Huan Lai ,  Chii-ming M. Wu ,  Jiing-Shin Shyu ,  Jhon-Jhy Liaw ,  Wesley Lin

IPC分类号： G06F7/00 ,  G06F17/30

CPC分类号： G06F17/30067

摘要： An on-demand data management system. The system comprises a file management module and a demand analysis module. The file management module receives files. Each file has attributes. The file management module segments the files according the attributes. The demand analysis module receives a data demand and selects data from the segmented files according to the data demand.

摘要翻译： 按需数据管理系统。 该系统包括文件管理模块和需求分析模块。 文件管理模块接收文件。 每个文件都有属性。 文件管理模块根据属性对文件进行分段。 需求分析模块接收数据需求，根据数据需求从分段文件中选择数据。