公开(公告)号：US06427090B1

公开(公告)日：2002-07-30

申请号：US09376943

申请日：1999-08-18

申请人： John T. Federico ,  Perry G. Hartswick ,  Alan C. Thomas ,  Anne Marie Pelella

发明人： John T. Federico ,  Perry G. Hartswick ,  Alan C. Thomas ,  Anne Marie Pelella

IPC分类号： G06F1900

CPC分类号： G05B19/4187 ,  G05B2219/32233 ,  G06Q10/06 ,  Y02P90/205

摘要： A system is provided for controlling the time at which a durable item, such as a reticle used in a lithography process in semiconductor manufacturing, is requalified for use. A counting device counts occurrences of predefined events, such as the number of jobs in which the reticle is used or the number of times it is placed in a lithography tool. The reticle is not removed from use until a limiting number of jobs or tool placements is reached, or the reticle is needed for processing the requalification job. The system also includes a requalification device for the durable item.

摘要翻译： 提供了一种用于控制在半导体制造中的光刻工艺中使用的诸如掩模版之类的耐用物品被重新认证使用的时间的系统。 计数装置计数预定义事件的发生，例如使用掩模版的作业数量或将其放置在光刻工具中的次数。 在达到限定数量的作业或工具布置之前，标线没有被使用，否则需要加工掩模版来处理重新鉴定作业。 该系统还包括用于耐用物品的再鉴定装置。