公开(公告)号：US20090056575A1

公开(公告)日：2009-03-05

申请号：US11897776

申请日：2007-08-31

申请人： Jon A. Bartman ,  William M. Tong ,  Wei Wu ,  YuFong Chen

发明人： Jon A. Bartman ,  William M. Tong ,  Wei Wu ,  YuFong Chen

IPC分类号： B41F1/16

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B29C2059/023 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

摘要： A pattern transfer apparatus including an inflatable membrane is described.

摘要翻译： 描述包括充气膜的图案转印装置。