公开(公告)号：US06933165B2

公开(公告)日：2005-08-23

申请号：US10668887

申请日：2003-09-22

申请人： Jurgen Musolf ,  Paul Kohl

发明人： Jurgen Musolf ,  Paul Kohl

IPC分类号： H01G5/18 ,  H01H59/00 ,  H01L21/00 ,  H01L21/44

CPC分类号： H01H59/0009 ,  B82Y30/00 ,  H01G5/18 ,  H01H2059/0081

摘要： A method of fabricating an electrostatic actuator with an intrinsic stress gradient is provided. An electrode is formed on a substrate and a support layer is formed over the electrode. A metal layer is deposited onto the support layer via a deposition process. Deposition process conditions are varied in order to induce a stress gradient into the metal layer. The intrinsic stress in the metal layer increases in the direction from the bottom to the top of the metal layer. The support layer under the electrode is removed to release the electrostatic actuator.

摘要翻译： 提供一种制造具有固有应力梯度的静电致动器的方法。 在基板上形成电极，在电极上形成支撑层。 通过沉积工艺将金属层沉积到载体层上。 改变沉积工艺条件以便诱导金属层中的应力梯度。 金属层中的固有应力在从金属层的底部到顶部的方向上增加。 除去电极下面的支撑层以释放静电致动器。

公开(公告)号：US06625004B1

公开(公告)日：2003-09-23

申请号：US09944867

申请日：2001-08-31

申请人： Jurgen Musolf ,  Paul Kohl

发明人： Jurgen Musolf ,  Paul Kohl

IPC分类号： H01G501

CPC分类号： H01H59/0009 ,  B82Y30/00 ,  H01G5/18 ,  H01H2059/0081

摘要： An electrostatic actuator with an intrinsic stress gradient is provided. The electrostatic actuator comprises an electrode and an electrostatically actuated beam fixed at one end relative to the electrode. The electrostatically actuated beam further includes a metal layer made substantially of a single metal with an induced stress gradient therein. The stress gradient in the metal layer determines the initial curvature of the beam. Upon electrostatic actuation of the beam, the beam is deflected from its initial curvature relative to the electrode. In one embodiment, the electrostatically actuated beam is used as a top movable electrode of an electrostatically actuated variable capacitor. The capacitance of the electrostatically actuated capacitor is changed upon electrostatic actuation of the beam.

摘要翻译： 提供具有固有应力梯度的静电致动器。 静电致动器包括相对于电极在一端固定的电极和静电致动的光束。 静电致动光束还包括基本上由其中具有诱发应力梯度的单一金属制成的金属层。 金属层中的应力梯度决定了梁的初始曲率。 在光束的静电致动时，光束相对于电极从其初始曲率偏转。 在一个实施例中，静电驱动的光束用作静电驱动的可变电容器的顶部可移动电极。 静电驱动的电容器的电容在光束的静电驱动时改变。

公开(公告)号：US5311793A

公开(公告)日：1994-05-17

申请号：US930602

申请日：1992-09-30

申请人： Claus-Peter Panek ,  Jurgen Musolf ,  Uwe Wohlmann ,  Wulf Post

发明人： Claus-Peter Panek ,  Jurgen Musolf ,  Uwe Wohlmann ,  Wulf Post

IPC分类号： F16C1/12 ,  F16D65/14 ,  F16D65/22 ,  F16C1/10

CPC分类号： F16D65/22 ,  F16C1/12 ,  F16D2125/60 ,  F16D2125/62 ,  F16D2125/68 ,  Y10T74/20402 ,  Y10T74/2045 ,  Y10T74/20462

摘要： A brake cable fixing device for the expanding lock of a parking brake is described making possible an easy installation of a brake cable. A tapered cable end nipple of the brake cable is guided during installation by a funnel-shaped entry space, constituted by the outer edges of the fork of an actuating lever and by an elastic leg of a securing element positioned on a forked pressure bracket. Insertion of the cable and nipple deflects the elastic leg of the securing element, allowing the end nipple to pass by, and the restoring force of the elastic leg urges the cable end nipple into position in the fork of the actuating lever. The securing element is described as a spring clasp, having a pair of spring legs connected at a vertex, one spring leg constituting the elastic leg, the other spring leg engaging the endwall of the pressure bracket to mount the securing element thereto.

摘要翻译： PCT No.PCT / EP91 / 00215 Sec。 371日期：1992年9月30日 102（e）1992年9月30日PCT PCT 1991年2月5日PCT公布。 WO91 / 15685 PCT出版物 日本1991年10月17日。描述了一种用于驻车制动器的扩展锁的制动器缆线固定装置，使得可以容易地安装制动缆索。 制动器电缆的锥形电缆末端接头在安装期间通过由致动杆的叉的外边缘和定位在叉形压力支架上的固定元件的弹性腿构成的漏斗形进入空间来引导。 插入电缆和接头使固定元件的弹性腿偏转，允许端部接头穿过，并且弹性腿的恢复力将电缆末端接头推入致动杆的叉中的位置。 固定元件被描述为弹簧扣，其具有连接在顶点的一对弹簧腿，构成弹性腿的一个弹簧腿，另一个弹簧腿接合压力支架的端壁，以将固定元件安装到其上。