公开(公告)号：US06918735B2

公开(公告)日：2005-07-19

申请号：US10362791

申请日：2002-04-12

申请人： Karsten Urban ,  Winfried Deutscher ,  Joachim Wienecke

发明人： Karsten Urban ,  Winfried Deutscher ,  Joachim Wienecke

IPC分类号： B65G49/07 ,  H01L21/677 ,  H01L21/687 ,  B25J15/00

CPC分类号： H01L21/68707 ,  Y10S294/902

摘要： The invention relates to a holding device for wafers in an arrangement for wafer inspection, comprising two grippers (11, 12), each of which, in the closed state of the holding device (8), encloses a subsection of the wafer circumference and which are connected to a drive device (27) and, when the latter is driven, the grippers (11, 12) move away from each other for the purpose of opening the holding device (9) and move toward each other for the purpose of closing the holding device (8), and a holding arm (13), on which the two grippers (11, 12) are pivotably mounted.In this case the holding arm (13) is mounted such that it can rotate about an axis (A) which lies substantially in the plane covered by the wafer (W), so that after a rotation through 180° about the axis (A), a wafer (W) held between the grippers (11, 12) has been turned.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于晶片检查的晶片的保持装置，包括两个夹持器（11,12），每个夹持器在保持装置（8）的关闭状态下包围晶片圆周的子部分，并且其中 连接到驱动装置（27），并且当驱动装置（27）被驱动时，夹持器（11,12）彼此远离，以便打开保持装置（9）并且朝向彼此移动以关闭 所述保持装置（8）和保持臂（13），所述两个夹持器（11,12）可枢转地安装在所述保持臂上。 在这种情况下，保持臂（13）被安装成使得其可以围绕基本上位于由晶片（W）覆盖的平面中的轴线（A）旋转，使得在围绕轴线（A）旋转180°之后， 夹持在夹持器（11,12）之间的晶片（W）已经转动。

公开(公告)号：US20090309285A1

公开(公告)日：2009-12-17

申请号：US12455634

申请日：2009-06-04

申请人： Rene Schenck ,  Thomas Iffland ,  Winfried Deutscher

发明人： Rene Schenck ,  Thomas Iffland ,  Winfried Deutscher

IPC分类号： B23Q3/00

CPC分类号： H01L21/6732

摘要： A device for holding disk-shaped objects, particularly semiconductor wafers, having at least three contact elements for depositing and/or fixing the disk-shaped object at its outer edge area. The contact elements are designed such that they have an incline facing the object and a supporting surface.

摘要翻译： 一种用于保持盘形物体，特别是半导体晶片的装置，其具有至少三个接触元件，用于在其外边缘区域处沉积和/或固定盘形物体。 接触元件被设计成使得它们具有面向物体的倾斜面和支撑表面。

公开(公告)号：US20080203636A1

公开(公告)日：2008-08-28

申请号：US12072205

申请日：2008-02-25

申请人： Rene Schenck ,  Detlef Wolter ,  Thomas Iffland ,  Winfried Deutscher

发明人： Rene Schenck ,  Detlef Wolter ,  Thomas Iffland ,  Winfried Deutscher

IPC分类号： B23Q3/08 ,  B25B1/00 ,  B25B1/24

CPC分类号： B25B5/003 ,  H01L21/68707 ,  H01L21/68728

摘要： An apparatus for holding disk-like objects, in particular semiconductor wafers (12), with at least three contacting elements (18) for supporting and/or fixing the disk-like object at its outer edge region (22). It is provided that at least one of the contacting elements (18) is moveable.

摘要翻译： 一种用于保持盘状物体，特别是具有至少三个用于在其外边缘区域（22）处支撑和/或固定盘状物体的接触元件（18）的盘状物体的设备。 提供至少一个接触元件（18）是可移动的。