公开(公告)号：US06813376B1

公开(公告)日：2004-11-02

申请号：US09697807

申请日：2000-10-27

申请人： Kathleen Hennessey ,  Youling Lin ,  Yongqiang Liu ,  Veera V. S. Khaja ,  Yonghang Fu

发明人： Kathleen Hennessey ,  Youling Lin ,  Yongqiang Liu ,  Veera V. S. Khaja ,  Yonghang Fu

IPC分类号： G06K900

CPC分类号： G06T7/0006 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/95607 ,  G01N2021/95615 ,  G06T2207/30148

摘要： A method of collating and using captured semiconductor-wafer image data in an automated defect analysis. The method includes the steps of receiving image data and, if necessary, converting it to a digital format. Once the data is in pixel-by-pixel form, each pixel is assigned a slope value derived from the direction of the structure edge, if any, on which it lies. The pixel-slope data is then evaluated to determine whether a photo-resist anomaly is present. The method may also include evaluated an average pixel slope value for each inspected wafer. Dependant claims further define the invention to claim an inspection system for employing the method.

摘要翻译： 一种在自动化缺陷分析中整理和使用捕获的半导体晶片图像数据的方法。 该方法包括接收图像数据的步骤，如有必要，将其转换为数字格式。 一旦数据以像素为单位的形式，每个像素被分配一个从它所在的结构边缘（如果有的话）的方向导出的斜率值。 然后评估像素斜率数据以确定是否存在光刻胶异常。 该方法还可以包括评估每个被检查晶片的平均像素斜率值。 从属权利要求进一步限定本发明以要求用于采用该方法的检查系统。

公开(公告)号：US6014461A

公开(公告)日：2000-01-11

申请号：US998315

申请日：1997-12-24

申请人： Audrey Kathleen Hennessey ,  YouLing Lin ,  Veera V. S. Khaja ,  Ramakrishna Pattikonda ,  Rajasekar Reddy ,  Huitian Lu ,  Ramachandra Katragadda

发明人： Audrey Kathleen Hennessey ,  YouLing Lin ,  Veera V. S. Khaja ,  Ramakrishna Pattikonda ,  Rajasekar Reddy ,  Huitian Lu ,  Ramachandra Katragadda

IPC分类号： G06K9/62

CPC分类号： G06K9/626

摘要： An apparatus and method for automatic knowledge-based object or anomaly classification is provided by capturing a pixel map of an image and from that generating high level descriptors of the object or anomaly such as size, shape, color and sharpness. These descriptors are compared with sets of descriptors in a knowledge-base to classify the object or anomaly.

摘要翻译： 通过捕获图像的像素图和从生成对象或异常的高级描述符（例如大小，形状，颜色和锐度）的方式提供用于自动基于知识的对象或异常分类的装置和方法。 将这些描述符与知识库中的描述符集进行比较，以对对象或异常进行分类。