公开(公告)号：US5031331A

公开(公告)日：1991-07-16

申请号：US448268

申请日：1989-12-11

申请人： Klaus Herzog ,  Karl Seitz ,  Karl Schepperle ,  Peter hnelt

发明人： Klaus Herzog ,  Karl Seitz ,  Karl Schepperle ,  Peter hnelt

IPC分类号： G01B1/00 ,  G01B5/00 ,  G01B11/00 ,  G01D5/30

CPC分类号： G01B5/0014 ,  G01B11/005

摘要： A coordinate measuring apparatus includes guides made of aluminum. Scales which are also made of aluminum are used to measure the position of the measuring slide movable on the guides. In a preferred embodiment, the scales are in the form of a reflection phase grating and are applied directly to the surface of the guide member. In addition, a temperature sensor is provided which measures the temperature of the guide member and of the scale divisions. A method of producing the scale divisions is also disclosed.

摘要翻译： 坐标测量装置包括由铝制成的导轨。 用铝制成的刻度用于测量可在导轨上移动的测量滑块的位置。 在优选实施例中，刻度尺是反射相位光栅的形式，并且直接施加到引导构件的表面。 此外，提供了一种温度传感器，其测量导向构件和刻度部分的温度。 还公开了一种生产分级的方法。