公开(公告)号：US20040036835A1

公开(公告)日：2004-02-26

申请号：US10610760

申请日：2003-07-02

Applicant: LG.Philips LCD Co., Ltd.

Inventor： Hyung Chan Lee ,  Beung Hwa Jeong

IPC: G02F001/13

CPC classification number: C03C17/40 ,  C03C2218/33 ,  C23F1/02 ,  G02F1/136286 ,  G02F2001/13629

Abstract: A method for forming a line of an LCD device includes sequentially depositing first and second metal layers on a glass substrate, forming a mask pattern on the second metal layer, performing a first wet-etch process using a mixed acid solution as an etchant on the first and second metal layers with the mask pattern, and performing a second wet-etch process using the mask pattern.

Abstract translation: 一种用于形成LCD装置的线的方法包括在玻璃基板上依次沉积第一和第二金属层，在第二金属层上形成掩模图案，使用混合酸溶液作为蚀刻剂在第二金属层上进行第一湿蚀刻工艺 具有掩模图案的第一和第二金属层，以及使用掩模图案进行第二湿法蚀刻工艺。