公开(公告)号：US20080286691A1

公开(公告)日：2008-11-20

申请号：US12121458

申请日：2008-05-15

申请人： Makoto AKITA ,  Masumi Suetsugu ,  Kazuhiko Hashimoto

发明人： Makoto AKITA ,  Masumi Suetsugu ,  Kazuhiko Hashimoto

IPC分类号： G03F7/004

CPC分类号： G03F7/0397 ,  C08F8/12 ,  C08F8/14 ,  C08F12/22 ,  C08F212/14 ,  C08F212/32 ,  C08F220/18 ,  C08F2220/1891 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111

摘要： A chemically amplified positive resist composition comprising (A) a resin which comprises (i) a polymerization unit represented by the formula (I): (ii) a polymerization unit represented by the formula (II): and (iii) at least one polymerization unit selected from the group consisting of a polymerization unit represented by the formula (III): and a polymerization unit represented by the formula (IV): and (B) at least one acid generator.

摘要翻译： 一种化学放大正型抗蚀剂组合物，其包含（A）树脂，其包含（i）由式（I）表示的聚合单元：（ii）由式（II）表示的聚合单元：和（iii）至少一种聚合 选自由式（III）表示的聚合单元组的单元和由式（IV）表示的聚合单元：和（B）至少一种酸产生剂。

公开(公告)号：US20100233628A1

公开(公告)日：2010-09-16

申请号：US12719505

申请日：2010-03-08

申请人： Makoto AKITA ,  Isao Yoshida ,  Kazuhiko Hashimoto

发明人： Makoto AKITA ,  Isao Yoshida ,  Kazuhiko Hashimoto

IPC分类号： G03F7/004 ,  C07C69/76 ,  C08F232/08

CPC分类号： C07C69/00 ,  C07C69/78 ,  C07C2603/24 ,  C08F12/24 ,  C08F212/14 ,  C08F220/30 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0397 ,  C08F220/18 ,  C08F2220/185 ,  C08F2220/303

摘要： A compound represented by the formula (I): wherein R1 represents a hydrogen atom etc., R2 and R3 each independently represent a hydrogen atom etc., R4 represents a C1-C8 divalent hydrocarbon group, R5 represents a single bond etc., and R6 represents an unsubstituted or substituted C6-C20 aromatic hydrocarbon group, a polymer comprising a structural unit derived from the compound represented by the formula (I) and a chemically amplified positive resist composition comprising the polymer, at least one acid generator and at least one solvent.

摘要翻译： 由式（I）表示的化合物：其中R1表示氢原子等，R2和R3各自独立地表示氢原子等，R4表示C1-C8二价烃基，R5表示单键等，以及 R6表示未取代或取代的C6-C20芳族烃基，包含衍生自由式（I）表示的化合物的结构单元的聚合物和包含聚合物，至少一种酸产生剂和至少一种酸 溶剂。