公开(公告)号：US20100205698A1

公开(公告)日：2010-08-12

申请号：US12598490

申请日：2008-04-23

申请人： Marc Faucher ,  Lionel Buchaillot ,  Jean-Pierre Aime ,  Bernard Louis Amand Legrand ,  Gerard Couturier

发明人： Marc Faucher ,  Lionel Buchaillot ,  Jean-Pierre Aime ,  Bernard Louis Amand Legrand ,  Gerard Couturier

IPC分类号： G01Q60/38

CPC分类号： G01Q20/04 ,  G01Q30/12 ,  G01Q60/32 ,  G01Q60/38

摘要： A probe for atomic force microscopy (SM) comprising a micromechanical resonator (RMM) and a tip for atomic force microscopy (P1) projecting from said resonator, the probe being characterized in that: it also includes means (EL1) for selectively exciting a volume mode of oscillation of said resonator (RMM); and in that said tip for atomic force microscopy (P1, P1′) projects from said resonator substantially in correspondence with an antinode point (PV1) of said volume mode of oscillation. An atomic force microscope including such a probe (SM′). A method of atomic force microscopy including the use of such a probe.

摘要翻译： 一种用于原子力显微镜（SM）的探针，其包括微机械谐振器（RMM）和用于从所述谐振器突出的原子力显微镜（P1）的尖端，所述探针的特征在于：其还包括用于选择性地激发体积的装置（EL1） 所述谐振器（RMM）的振荡模式; 并且所述原子力显微镜（P1，P1'）的尖端基本上与所述体积振荡模式的波腹点（PV1）相对应地从所述谐振器突出。 包括这种探针（SM'）的原子力显微镜。 包括使用这种探针的原子力显微镜的方法。

公开(公告)号：US08091143B2

公开(公告)日：2012-01-03

申请号：US12598490

申请日：2008-04-23

申请人： Marc Faucher ,  Lionel Buchaillot ,  Jean-Pierre Aime ,  Bernard Louis Amand Legrand ,  Gerard Couturier

发明人： Marc Faucher ,  Lionel Buchaillot ,  Jean-Pierre Aime ,  Bernard Louis Amand Legrand ,  Gerard Couturier

IPC分类号： G01N13/16 ,  H01L29/84 ,  H03H9/00

CPC分类号： G01Q20/04 ,  G01Q30/12 ,  G01Q60/32 ,  G01Q60/38

摘要： A probe for atomic force microscopy (SM) comprising a micromechanical resonator (RMM) and a tip for atomic force microscopy (P1) projecting from said resonator, the probe being characterized in that: it also includes means (EL1) for selectively exciting a volume mode of oscillation of said resonator (RMM); and in that said tip for atomic force microscopy (P1, P1′) projects from said resonator substantially in correspondence with an antinode point (PV1) of said volume mode of oscillation. An atomic force microscope including such a probe (SM′). A method of atomic force microscopy including the use of such a probe.

摘要翻译： 一种用于原子力显微镜（SM）的探针，其包括微机械谐振器（RMM）和用于从所述谐振器突出的原子力显微镜（P1）的尖端，所述探针的特征在于：其还包括用于选择性地激发体积的装置（EL1） 所述谐振器（RMM）的振荡模式; 并且所述原子力显微镜（P1，P1'）的尖端基本上与所述体积振荡模式的波腹点（PV1）相对应地从所述谐振器突出。 包括这种探针（SM'）的原子力显微镜。 包括使用这种探针的原子力显微镜的方法。