公开(公告)号：US20120180663A1

公开(公告)日：2012-07-19

申请号：US13008088

申请日：2011-01-18

申请人： Mark Charles Easton ,  Joseph P. DeGeorge

发明人： Mark Charles Easton ,  Joseph P. DeGeorge

IPC分类号： H01L21/34 ,  B01D45/08

CPC分类号： B01D45/08 ,  C23C16/4412

摘要： Embodiments of the present invention provide a vacuum trap labyrinth with improved trapping characteristics. The vacuum trap labyrinth comprised of an inner part and an outer part that fit together while in use, and come apart for easy cleaning during maintenance. The vacuum trap labyrinth is installed in a catchpot. In one embodiment, an O-ring is used to seal off an area of the catchpot to facilitate a visual inspection.

摘要翻译： 本发明的实施例提供一种具有改进的捕集特性的真空阱迷宫。 真空陷阱迷宫由内部和外部构成，在使用时装配在一起，并在维护期间分开以便于清洁。 真空陷阱迷宫安装在收集罐中。 在一个实施例中，O形环用于密封收集罐的区域以便于目视检查。

公开(公告)号：US08404028B2

公开(公告)日：2013-03-26

申请号：US13008088

申请日：2011-01-18

申请人： Mark Charles Easton ,  Joseph P. DeGeorge

发明人： Mark Charles Easton ,  Joseph P. DeGeorge

IPC分类号： B01D45/00

CPC分类号： B01D45/08 ,  C23C16/4412

摘要： Embodiments of the present invention provide a vacuum trap labyrinth with improved trapping characteristics. The vacuum trap labyrinth comprised of an inner part and an outer part that fit together while in use, and come apart for easy cleaning during maintenance. The vacuum trap labyrinth is installed in a catchpot. In one embodiment, an O-ring is used to seal off an area of the catchpot to facilitate a visual inspection.

摘要翻译： 本发明的实施例提供一种具有改进的捕集特性的真空阱迷宫。 真空陷阱迷宫由内部和外部组成，在使用时装配在一起，并在维护期间分开以便于清洁。 真空陷阱迷宫安装在收集罐中。 在一个实施例中，O形环用于密封捕获阱的区域以便于目视检查。