公开(公告)号：US5922100A

公开(公告)日：1999-07-13

申请号：US729305

申请日：1996-10-15

申请人： Michael B. Cain ,  Robert B. Desorice ,  William J. Kiefer ,  Dale R. Powers

发明人： Michael B. Cain ,  Robert B. Desorice ,  William J. Kiefer ,  Dale R. Powers

IPC分类号： F23D14/38 ,  C03B8/04 ,  C03B19/14 ,  C03B37/014 ,  C03B37/018 ,  C23C16/453 ,  F23D14/02 ,  F23D14/22 ,  F23D14/32 ,  F23G7/06 ,  F23L7/00

CPC分类号： C03B19/1423 ,  C03B37/0142 ,  C23C16/453 ,  F23D14/02 ,  F23D14/32 ,  F23G7/065 ,  F23L7/00 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/12 ,  C03B2207/14 ,  C03B2207/20 ,  C03B2207/22 ,  C03B2207/32 ,  C03B2207/36 ,  C03B2207/42 ,  F23L2900/07002 ,  Y02P40/57

摘要： A precision burner for oxidizing halide-free, silicon-containing compounds, such as, octamethylcyclotetrasiloxane (OMCTS), is provided. The burner includes a subassembly (13) which can be precisely mounted on a burner mounting block (107) through the use of an alignment stub (158), a raised face (162) on the burner mounting block (107), and a recess (160) in the back of the subassembly (13). The burner's face includes four concentric gas-emitting regions: a first central region (36, 90) from which exits a mixture of OMCTS and O.sub.2, a second innershield region (38, 92) from which exits N.sub.2, a third outershield region (40, 42, 94, 96) from which exits O.sub.2, and a fourth premix region (44, 98) from which exits a mixture of CH.sub.4 and O.sub.2. The burner provides more efficient utilization of halide-free, silicon-containing raw materials than prior burners.

摘要翻译： 提供了用于氧化无卤素的含硅化合物如八甲基环四硅氧烷（OMCTS）的精密燃烧器。 该燃烧器包括一个子组件（13），其可以通过使用对准短柱（158），燃烧器安装块（107）上的凸起面（162），以及凹部 （160）在所述子组件（13）的后部。 燃烧器的表面包括四个同心气体发射区域：从其离开OMCTS和O2的混合物的第一中心区域（36,90），从其离开N2的第二内侧区域（38,92），第三外部区域（40 ，42,94,96），以及从其离开CH 4和O 2的混合物的第四预混合区（44,98）。 燃烧器比以前的燃烧器更有效地利用无卤素，含硅原料。

公开(公告)号：US5599371A

公开(公告)日：1997-02-04

申请号：US367047

申请日：1994-12-30

申请人： Michael B. Cain ,  Robert B. Desorice ,  William J. Kiefer ,  Dale R. Powers

发明人： Michael B. Cain ,  Robert B. Desorice ,  William J. Kiefer ,  Dale R. Powers

IPC分类号： F23D14/38 ,  C03B8/04 ,  C03B19/14 ,  C03B37/014 ,  C03B37/018 ,  C23C16/453 ,  F23D14/02 ,  F23D14/22 ,  F23D14/32 ,  F23G7/06 ,  F23L7/00

CPC分类号： C03B19/1423 ,  C03B37/0142 ,  C23C16/453 ,  F23D14/02 ,  F23D14/32 ,  F23G7/065 ,  F23L7/00 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/12 ,  C03B2207/14 ,  C03B2207/20 ,  C03B2207/22 ,  C03B2207/32 ,  C03B2207/36 ,  C03B2207/42 ,  F23L2900/07002 ,  Y02P40/57

摘要： A precision burner for oxidizing halide-free, silicon-containing compounds, such as, octamethyl-cyclotetrasiloxane (OMCTS), is provided. The burner includes a subassembly (13) which can be precisely mounted on a burner mounting block (107) through the use of an alignment stub (158), a raised face (162) on the burner mounting block (107), and a recess (160) in the back of the subassembly (13). The burner's face includes four concentric gas-emitting regions: a first central region (36, 90) from which exits a mixture of OMCTS and O.sub.2, a second innershield region (38, 92) from which exits N.sub.2, a third outershield region (40, 42, 94, 96) from which exits O.sub.2, and a fourth premix region (44, 98) from which exits a mixture of CH.sub.4 and O.sub.2. The burner provides more efficient utilization of halide-free, silicon-containing raw materials than prior burners.

摘要翻译： 提供了用于氧化无卤素的含硅化合物如八甲基环四硅氧烷（OMCTS）的精密燃烧器。 该燃烧器包括一个子组件（13），其可以通过使用对准短柱（158），燃烧器安装块（107）上的凸起面（162），以及凹部 （160）在所述子组件（13）的后部。 燃烧器的表面包括四个同心气体发射区域：从其离开OMCTS和O2的混合物的第一中心区域（36,90），从其离开N2的第二内侧区域（38,92），第三外部区域（40 ，42,94,96），以及从其离开CH 4和O 2的混合物的第四预混合区（44,98）。 燃烧器比以前的燃烧器更有效地利用无卤素，含硅原料。