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1.发明授权Methods, apparatuses, and systems for micromechanical gas chemical sensing capacitor 有权微机械气体化学感应电容器的方法，装置和系统公开(公告)号：US08410562B2
公开(公告)日：2013-04-02
申请号：US13010954
申请日：2011-01-21
申请人： Nathan Lazarus , Gary Fedder , Sarah Bedair , Chiung Lo
发明人： Nathan Lazarus , Gary Fedder , Sarah Bedair , Chiung Lo
IPC分类号： H01L27/14
CPC分类号： H01L28/40 , G01N27/227
摘要： A capacitive chemical sensor, along with methods of making and using the sensor are provided. The sensors described herein eliminate undesirable capacitance by etching away the substrate underneath the capacitive chemical sensor, eliminating most of the substrate capacitance and making changes in the chemical-sensitive layer capacitance easier to detect.
摘要翻译： 提供电容化学传感器，以及制造和使用传感器的方法。 本文所述的传感器通过蚀刻掉电容化学传感器下面的衬底来消除不需要的电容，从而消除了大部分衬底电容，并使化学敏感层电容的变化更易于检测。
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2.发明申请METHODS, APPARATUSES, AND SYSTEMS FOR MICROMECHANICAL GAS CHEMICAL SENSING CAPACITOR 有权微生物气体化学感应电容器的方法，装置和系统公开(公告)号：US20110180884A1
公开(公告)日：2011-07-28
申请号：US13010954
申请日：2011-01-21
申请人： Nathan Lazarus , Gary Fedder , Sarah Bedair , Chiung Lo
发明人： Nathan Lazarus , Gary Fedder , Sarah Bedair , Chiung Lo
CPC分类号： H01L28/40 , G01N27/227
摘要： A capacitive chemical sensor, along with methods of making and using the sensor are provided. The sensors described herein eliminate undesirable capacitance by etching away the substrate underneath the capacitive chemical sensor, eliminating most of the substrate capacitance and making changes in the chemical-sensitive layer capacitance easier to detect.
摘要翻译： 提供电容化学传感器，以及制造和使用传感器的方法。 本文所述的传感器通过蚀刻掉电容化学传感器下面的衬底来消除不需要的电容，从而消除了大部分衬底电容，并使化学敏感层电容的变化更易于检测。
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