公开(公告)号：US20060025880A1

公开(公告)日：2006-02-02

申请号：US10710709

申请日：2004-07-29

申请人： Padmavathi Chukka ,  Ying Du ,  Barry Herbold ,  Benjamin Herta ,  Krithikpriya Kunka ,  Frank Liang ,  Robert MacHugh ,  Sorabh Murgai ,  Thomas O'Leary ,  Chinmay Oza ,  Rakesh Parimi ,  Martin Soyka

发明人： Padmavathi Chukka ,  Ying Du ,  Barry Herbold ,  Benjamin Herta ,  Krithikpriya Kunka ,  Frank Liang ,  Robert MacHugh ,  Sorabh Murgai ,  Thomas O'Leary ,  Chinmay Oza ,  Rakesh Parimi ,  Martin Soyka

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41865 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/20

摘要： A software module for use within an integrated circuit fabrication facility sends commands to a tool according to a method that operates with any tool that satisfies SEMI standards to add or subtract steps in a process without reprogramming or recompiling. The program operates autonomously to change parameters of commands that it sends to the tool to improve performance of the fab.

摘要翻译： 在集成电路制造设施内使用的软件模块根据使用满足SEMI标准的任何工具来操作的方法向工具发送命令，以在不重新编程或重新编译的情况下加或减步骤。 该程序自动运行以更改其发送到工具的命令参数，以提高晶圆厂的性能。

公开(公告)号：US20060271223A1

公开(公告)日：2006-11-30

申请号：US10908835

申请日：2005-05-27

申请人： Karl Gartland ,  Barry Herbold ,  Glade Keaney ,  Krithikpriya Kunka ,  Robert MacHugh ,  Parth Dave ,  Bradford Pousland

发明人： Karl Gartland ,  Barry Herbold ,  Glade Keaney ,  Krithikpriya Kunka ,  Robert MacHugh ,  Parth Dave ,  Bradford Pousland

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41835 ,  G05B2219/34354 ,  G05B2219/45031

摘要： A manufacturing system configured for automated operational state tracking and management includes an automated manufacturing execution system (MES) in communication with manufacturing equipment, equipment integration software (EIS) configured to provide an interface between the MES and the manufacturing equipment, and a plug-in module in operable communication with the EIS. The plug-in module is configured to automatically obtain information regarding rules for changing defined operational states, and to receive triggering event information from the manufacturing equipment. The plug-in module is further configured to compare the triggering event information with the rules, and to change the present operational state of the manufacturing equipment in accordance with the rules.

摘要翻译： 配置用于自动化操作状态跟踪和管理的制造系统包括与制造设备通信的自动化制造执行系统（MES），被配置为提供MES和制造设备之间的接口的设备集成软件（EIS）和插件 模块与EIS可操作地通信。 插件模块被配置为自动获取关于改变定义的操作状态的规则的信息，并且从制造设备接收触发事件信息。 插件模块还被配置为将触发事件信息与规则进行比较，并且根据规则改变制造设备的当前操作状态。