公开(公告)号：US20090292506A1

公开(公告)日：2009-11-26

申请号：US12538066

申请日：2009-08-07

申请人： Paul Douglas MacDonald ,  Michiel V.P. Kruger ,  Michael Welch ,  Mason L. Freed ,  Costas J. Spanos

发明人： Paul Douglas MacDonald ,  Michiel V.P. Kruger ,  Michael Welch ,  Mason L. Freed ,  Costas J. Spanos

IPC分类号： G06F15/00

CPC分类号： G05B23/0235 ,  G05B13/04 ,  G05B13/045

摘要： One aspect of the present invention is a method of monitoring processes, optimizing processes, and diagnosing problems in the performance of a process tool for processing a workpiece. Another aspect of the present invention is a system configured for monitoring processes, optimizing processes, and diagnosing problems in the performance of a process tool for processing a workpiece. One embodiment of the present invention includes a software program that can be implemented in a computer for optimizing the performance of a process tool for processing a workpiece.

摘要翻译： 本发明的一个方面是监视处理工艺，优化处理和诊断处理工具处理工具的执行中的问题的方法。 本发明的另一方面是被配置为用于监视处理，优化处理和诊断用于处理工件的处理工具的执行中的问题的系统。 本发明的一个实施例包括可以在计算机中实现的用于优化用于处理工件的处理工具的性能的软件程序。