公开(公告)号：US06500488B1

公开(公告)日：2002-12-31

申请号：US07924901

申请日：1992-08-04

申请人： R. P. H. Chang ,  Kevin J. Grannen

发明人： R. P. H. Chang ,  Kevin J. Grannen

IPC分类号： C23C1626

CPC分类号： C23C16/274 ,  C23C16/278

摘要： A method of forming a fluorine-bearing diamond layer on non-diamond substrates, especially on tool substrates comprising a metal matrix and hard particles, such as tungsten carbide particles, in the metal matrix. The substrate and a fluorine-bearing plasma or other gas are then contacted under temperature and pressure conditions effective to nucleate fluorine-bearing diamond on the substrate. A tool insert substrate is treated prior to the diamond nucleation and growth operation by etching both the metal matrix and the hard particles using suitable etchants.

摘要翻译： 在非金刚石基底上形成含氟金刚石层的方法，特别是在金属基质中包含金属基体和硬质颗粒（例如碳化钨颗粒）的工具基底上。 然后在有效使含氟金刚石在基材上成核的温度和压力条件下接触衬底和含氟等离子体或其它气体。 在金刚石成核和生长操作之前，通过使用合适的蚀刻剂蚀刻金属基体和硬质粒子来处理工具插入物基底。