公开(公告)号：US08907277B2

公开(公告)日：2014-12-09

申请号：US12919676

申请日：2009-02-13

申请人： Rainer Knippelmeyer ,  Nicholas Economou ,  Mohan Ananth ,  Lewis A. Stern ,  Bill DiNatale ,  Lawrence Scipioni ,  John A. Notte, IV

发明人： Rainer Knippelmeyer ,  Nicholas Economou ,  Mohan Ananth ,  Lewis A. Stern ,  Bill DiNatale ,  Lawrence Scipioni ,  John A. Notte, IV

IPC分类号： H01J49/00 ,  G01N1/32

CPC分类号： G01N1/32 ,  H01J2237/0203 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/31749

摘要： Methods disclosed herein include: (a) forming a channel in a sample, the channel extending one micron or more along a direction oriented at an angle to a surface of the sample; (b) exposing a portion of the sample above the channel to a particle beam to cause particles to leave the surface of the sample; and (c) forming an image of the sample based on particles that leave the surface.

摘要翻译： 本文公开的方法包括：（a）在样品中形成通道，所述通道沿着与样品表面成一定角度取向的方向延伸一微米或更多; （b）使通道上方的样品的一部分暴露于粒子束以使颗粒离开样品的表面; 和（c）基于离开表面的颗粒形成样品的图像。

公开(公告)号：US20110049364A1

公开(公告)日：2011-03-03

申请号：US12919676

申请日：2009-02-13

申请人： Rainer Knippelmeyer ,  Nicholas Economou ,  Mohan Ananth ,  Lewis A. Stern ,  Bill DiNatale ,  Lawrence Scipioni ,  John A. Notte, IV

发明人： Rainer Knippelmeyer ,  Nicholas Economou ,  Mohan Ananth ,  Lewis A. Stern ,  Bill DiNatale ,  Lawrence Scipioni ,  John A. Notte, IV

IPC分类号： G01N23/225

CPC分类号： G01N1/32 ,  H01J2237/0203 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/31749

摘要： Methods disclosed herein include: (a) forming a channel in a sample, the channel extending one micron or more along a direction oriented at an angle to a surface of the sample; (b) exposing a portion of the sample above the channel to a particle beam to cause particles to leave the surface of the sample; and (c) forming an image of the sample based on particles that leave the surface.

摘要翻译： 本文公开的方法包括：（a）在样品中形成通道，所述通道沿着与样品表面成一定角度取向的方向延伸一微米或更多; （b）使通道上方的样品的一部分暴露于粒子束以使颗粒离开样品的表面; 和（c）基于离开表面的颗粒形成样品的图像。