公开(公告)号：US20050077025A1

公开(公告)日：2005-04-14

申请号：US10685202

申请日：2003-10-14

申请人： Raschid Bezama ,  William Harkins ,  David Long ,  Jason Miller ,  Christopher Pepe ,  Ronald Rothkranz ,  John Rudy ,  Benjamin Tongue

发明人： Raschid Bezama ,  William Harkins ,  David Long ,  Jason Miller ,  Christopher Pepe ,  Ronald Rothkranz ,  John Rudy ,  Benjamin Tongue

IPC分类号： B41F15/12 ,  H05K3/12 ,  F24H3/00

CPC分类号： B41F15/12 ,  B41P2235/00 ,  H05K3/1225 ,  H05K2203/1121

摘要： A method and apparatus for the rapid cooling of screen masks used in the fabrication of semiconductor components is provided. The method and apparatus use a specially designed cooling plate which is contacted with a mask frame holding the screening mask. After a heated cleaning step which cleans the mask frame and screening mask of metal paste used in the screening operation, the cooling plate having one or more concave lower surfaces contacts the upper surfaces of the mask frame and bends the mask frame in the shape of the concave surfaces. This ensures intimate contact between the cooling plate and mask frame and enhances the thermal efficiency of the cooling step.

摘要翻译： 提供了用于半导体部件制造中使用的屏蔽掩模的快速冷却的方法和装置。 该方法和装置使用专门设计的冷却板，该冷却板与保持屏蔽罩的面罩框架相接触。 在清洗掩模框架并筛选用于筛选操作的金属膏的掩模的加热清洁步骤之后，具有一个或多个凹下表面的冷却板接触荫罩框架的上表面，并将面罩框架弯曲成 凹面。 这确保了冷却板和掩模框架之间的紧密接触，并提高了冷却步骤的热效率。