公开(公告)号：US20060088200A1

公开(公告)日：2006-04-27

申请号：US10973890

申请日：2004-10-25

申请人： Robert Du ,  Ronald Lesnick ,  John Nogatch

发明人： Robert Du ,  Ronald Lesnick ,  John Nogatch

IPC分类号： G06F17/50 ,  G06K9/00

CPC分类号： G06T7/001 ,  G03F1/84 ,  G06T7/32 ,  G06T2207/30148

摘要： One embodiment of the present invention provides a system that computes translational differentials between a database-image and a scanned-image of a photomask. During operation, the system receives a noise-free database-image and a scanned-image that is generated by an imaging process. Next, the system determines whether the database-image has complex geometry and whether the database-image is a line-and-space pattern. If the database-image is a line-and-space pattern, the system first converts the scanned-image into a polarity-enhanced-image. The system then computes translational differentials by performing a correlation using the database-image and the polarity-enhanced-image. On the other hand, if the database-image is not a line-and-space pattern, the system computes translational differentials by performing a correlation using the database-image and the scanned-image. Note that the accuracy of the computed translational differentials is significantly increased because the system chooses a technique for computing the translational differentials which is suitable for the type of pattern present in the database-image.

摘要翻译： 本发明的一个实施例提供了一种计算数据库图像与光掩模的扫描图像之间的平移差的系统。 在操作期间，系统接收无噪声的数据库图像和由成像过程生成的扫描图像。 接下来，系统确定数据库映像是否具有复杂的几何以及数据库映像是否是线间距模式。 如果数据库图像是行空间图案，则系统首先将扫描图像转换为极性增强图像。 然后，系统通过使用数据库图像和极性增强图像执行相关性来计算平移差分。 另一方面，如果数据库图像不是行空间图案，则系统通过使用数据库图像和扫描图像执行相关性来计算平移差分。 注意，由于系统选择适合于数据库图像中存在的模式类型的平移差分的技术，所以计算的平移差分的精度显着增加。