公开(公告)号：US20130100430A1

公开(公告)日：2013-04-25

申请号：US13651274

申请日：2012-10-12

申请人： Robert Gabriël Maria LANSBERGEN ,  Peter C. KOCHERSPERGER ,  David RAMIREZ ,  Xugang XIONG ,  Hilary HARROLD ,  Arindam SINHAROY

发明人： Robert Gabriël Maria LANSBERGEN ,  Peter C. KOCHERSPERGER ,  David RAMIREZ ,  Xugang XIONG ,  Hilary HARROLD ,  Arindam SINHAROY

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： B65D81/02 ,  B65B5/04 ,  G03F1/24 ,  G03F1/66 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70741 ,  H01L21/67359

摘要： An apparatus and a method to hold a patterning device configured to impart a beam of radiation with a pattern in its cross-section. The apparatus includes a base configured to support the patterning device and an inner cover couplable to the base. The inner cover includes a restraining mechanism that, upon an application of a force external to the inner cover, is configured to provide an in-plane force to the patterning device to restrain movement of the patterning device, the in-plane force being substantially parallel to a patterning surface of the patterning device.

摘要翻译： 一种用于保持图案形成装置的装置和方法，其被配置成在其横截面中赋予具有图案的辐射束。 该装置包括：基座，其被配置为支撑图案形成装置;以及内罩，其可连接到底座。 所述内盖包括约束机构，所述约束机构在施加所述内盖外部的力时被配置为向所述图案形成装置提供面内力以限制所述图案形成装置的移动，所述面内力基本上平行 到图案形成装置的图案化表面。