公开(公告)号：US5950096A

公开(公告)日：1999-09-07

申请号：US935362

申请日：1997-09-22

申请人： Robert Y.S. Huang ,  David Kou-Fong Hwang ,  Stephen Carl Kuehne ,  Jean Ling Lee ,  Jane Qian Liu ,  Yi Ma ,  Minseok Oh

发明人： Robert Y.S. Huang ,  David Kou-Fong Hwang ,  Stephen Carl Kuehne ,  Jean Ling Lee ,  Jane Qian Liu ,  Yi Ma ,  Minseok Oh

IPC分类号： H01L21/762 ,  H01L21/76

CPC分类号： H01L21/76202

摘要： In the fabrication of an integrated circuit, undesirable bird's beak pull back due to damage caused during ion implantation is alleviated by means of rapid thermal annealing step prior to chemical etching.

摘要翻译： 在集成电路的制造中，由化学蚀刻之前​​的快速热退火步骤减轻了离子注入过程中造成的损坏引起的不希望有的鸟喙拉回。