Maskless exposure device
    1.
    发明授权
    Maskless exposure device 有权
    无掩模曝光装置

    公开(公告)号:US09383651B2

    公开(公告)日:2016-07-05

    申请号:US14189663

    申请日:2014-02-25

    IPC分类号: G03F7/20

    CPC分类号: G03F7/70158 G03F7/70291

    摘要: In an aspect, a grating light valve module including: a substrate; and a plurality of ribbons disposed on the substrate, wherein each of the ribbons includes an insulating layer, a conductive layer disposed on the insulating layer, and an anti-oxidation layer disposed on the conductive layer is provided.

    摘要翻译: 一方面,一种光栅光阀模块,包括:基板; 以及设置在基板上的多个带,其中每个带包括绝缘层,设置在绝缘层上的导电层和设置在导电层上的抗氧化层。

    MASKLESS EXPOSURE DEVICE
    2.
    发明申请
    MASKLESS EXPOSURE DEVICE 有权
    MASKLESS曝光装置

    公开(公告)号:US20140340662A1

    公开(公告)日:2014-11-20

    申请号:US14189663

    申请日:2014-02-25

    IPC分类号: G03F7/20

    CPC分类号: G03F7/70158 G03F7/70291

    摘要: In an aspect, a grating light valve module including: a substrate; and a plurality of ribbons disposed on the substrate, wherein each of the ribbons includes an insulating layer, a conductive layer disposed on the insulating layer, and an anti-oxidation layer disposed on the conductive layer is provided.

    摘要翻译: 一方面,一种光栅光阀模块,包括:基板; 以及设置在基板上的多个带,其中每个带包括绝缘层,设置在绝缘层上的导电层和设置在导电层上的抗氧化层。