公开(公告)号：US20160163643A1

公开(公告)日：2016-06-09

申请号：US14955554

申请日：2015-12-01

Applicant: Samsung Electronics Co., Ltd.

Inventor： Hyun-Min CHOI ,  Chul-Yong Park

IPC: H01L23/525

CPC classification number: H01L23/5256 ,  H01L21/7682 ,  H01L23/53223 ,  H01L23/53238 ,  H01L23/53266 ,  H01L23/53295 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: E-fuse devices, and a method of manufacturing the same, include a first metal pattern extending in a first direction to connect a first electrode and a second electrode to each other, a first barrier metal contacting lateral surfaces and a bottom surface of the first metal pattern, and a first capping insulation layer contacting a top surface of the first metal pattern, wherein the first metal pattern includes an exposed region, the first barrier metal or the first capping insulation layer not contacting a top surface or a bottom surface of the exposed region.

Abstract translation: 电熔丝装置及其制造方法包括：第一金属图案，其沿第一方向延伸以将第一电极和第二电极彼此连接;第一阻挡金属接触侧表面和第一 金属图案和与第一金属图案的顶表面接触的第一封盖绝缘层，其中第一金属图案包括暴露区域，第一阻挡金属或第一封盖绝缘层不接触第一金属图案的顶表面或底表面 暴露区域。