公开(公告)号：US08925111B1

公开(公告)日：2014-12-30

申请号：US14140104

申请日：2013-12-24

Applicant: Samsung Electronics Co., Ltd.

Inventor： Wan-Sung Park ,  Sung-Ha Kim ,  Young-Hwan Kim

IPC: G01Q10/00 ,  G01Q20/04 ,  G01Q30/20 ,  G01B11/30 ,  G01Q70/02

CPC classification number: G01Q70/02

Abstract: Provided are a scanning probe microscope and a method of operating the same. The scanning probe microscope includes a chuck configured to fix an object. A stacker is configured to load one or more cantilevers onto a head module. A stacker lifting element is configured to move the stacker in an up and down direction.

Abstract translation: 提供扫描探针显微镜及其操作方法。 扫描探针显微镜包括配置成固定物体的卡盘。 堆垛机被配置为将一个或多个悬臂装载到头模块上。 堆垛机提升元件构造成沿上下方向移动堆垛机。