公开(公告)号：US20110182450A1

公开(公告)日：2011-07-28

申请号：US13080927

申请日：2011-04-06

申请人： Seok-Whan CHUNG ,  Dong-Kyun KIM ,  Byung-Gil JEONG

发明人： Seok-Whan CHUNG ,  Dong-Kyun KIM ,  Byung-Gil JEONG

IPC分类号： H04R25/00 ,  G10K9/122 ,  H01L41/22

CPC分类号： H04R17/005 ,  H04R2201/003 ,  Y10T29/42

摘要： Provided are a piezoelectric micro-acoustic transducer and a method of fabricating the same. In the piezoelectric micro-acoustic transducer, a diaphragm is divided into a first region and a second region. The first region may be formed of a material capable of maximizing the exciting force, and the second region may be formed of a material having less initial stress and a lower Young's modulus than the first region. Also, the second region has a corrugated shape.

摘要翻译： 提供一种压电微声换能器及其制造方法。 在压电微声换能器中，隔膜被分成第一区域和第二区域。 第一区域可以由能够使激励力最大化的材料形成，并且第二区域可以由初始应力较小的材料和比第一区域更低的杨氏模量形成。 此外，第二区域具有波纹形状。