公开(公告)号：US06854104B2

公开(公告)日：2005-02-08

申请号：US10306067

申请日：2002-11-27

申请人： Stanislav Aleshin ,  Marina Medvedeva ,  Jaroslav Kalinin ,  Sergel Rodin

发明人： Stanislav Aleshin ,  Marina Medvedeva ,  Jaroslav Kalinin ,  Sergel Rodin

IPC分类号： G03F1/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  G06F17/50 ,  G03C9/00

CPC分类号： G03F7/70441 ,  G03F1/36

摘要： An optical proximity correction system for local correction of an aerial image produced from a mask having transmissive portions and blocking portions collectively defining a target design includes an analyzer to match one or more segments of the target design to one or more typical case segments from a predetermined set of typical case segments; a controller, coupled to the analyzer, for approximating each of the one or more segments of the target design with matching typical case segments from the set of typical case segments to produce an adjusted aerial image. The method for optical proximity correction using local correction of an aerial image produced from a mask having transmissive portions and blocking portions collectively defining a target design, includes: a) analyzing the target design to produce one or more segments from the target design and to match the one or more segments to one or more typical case segments from a predetermined set of typical case segments; and b) approximating each of the one or more segments of the target design with the matching typical case segments from the set of typical case segments to produce an adjusted aerial image.

摘要翻译： 用于局部校正由具有透射部分的掩模和共同限定目标设计的阻挡部分产生的空间图像的光学邻近校正系统包括分析器，用于将目标设计的一个或多个段与一个或多个典型的壳段相匹配， 典型案例分组; 耦合到分析器的控制器，用于利用来自典型情况段的集合的匹配典型情况段近似目标设计的一个或多个段中的每一个，以产生经调整的空间图像。 使用由具有透射部分的掩模和共同限定目标设计的阻挡部分产生的空间图像的局部校正的光学邻近校正方法包括：a）分析目标设计以从目标设​​计产生一个或多个段，并且匹配 所述一个或多个段到来自预定的一组典型情况段的一个或多个典型情况段; 以及b）使用来自典型情况段的集合的匹配典型情况段来近似目标设计的一个或多个段中的每一个，以产生经调整的空间图像。