公开(公告)号：US07002694B2

公开(公告)日：2006-02-21

申请号：US10743792

申请日：2003-12-24

申请人： Stefan Schulte ,  Bernd Dörband ,  Henriette Müller ,  Wolfgang Kähler

发明人： Stefan Schulte ,  Bernd Dörband ,  Henriette Müller ,  Wolfgang Kähler

IPC分类号： G01B9/02

CPC分类号： G01B9/02057 ,  G01B9/02004 ,  G01B9/02039 ,  G01B9/02059 ,  G01B9/02069 ,  G01B9/02072 ,  G01B11/2441 ,  G01B11/306

摘要： An interferometer system comprises a reference surface, a support for an object providing an object surface, a radiation source for emitting radiation of an adjustable frequency onto the reference surface and the object surface, a position-sensitive radiation detector, a controller for adjusting a plurality of different frequencies of the radiation emitted by the radiation source, and an integrator for averaging the interference patterns superposed on the radiation detector at different frequencies. Moreover, there is provided a method for recording an interferogram, a method for providing an object with a target surface as well as a method for manufacturing an object with a target surface.

摘要翻译： 干涉仪系统包括参考表面，用于提供物体表面的物体的支撑件，用于将可调节频率的辐射发射到参考表面和物体表面上的辐射源，位置敏感放射线检测器，用于调整多个 由辐射源发射的辐射的不同频率，以及用于平均叠加在不同频率上的辐射检测器上的干涉图案的积分器。 此外，提供了一种用于记录干涉图的方法，用于向对象提供目标表面的方法以及用于制造具有目标表面的物体的方法。