公开(公告)号：US20110175997A1

公开(公告)日：2011-07-21

申请号：US12864110

申请日：2009-01-23

申请人： Steven K. Case ,  Caruso Beverly ,  Chuanqi Chen ,  Carl Haugan

发明人： Steven K. Case ,  Caruso Beverly ,  Chuanqi Chen ,  Carl Haugan

IPC分类号： H04N7/18

CPC分类号： G01N21/8903 ,  G01N21/8806

摘要： An optical inspection system (92) for inspecting a workpiece (10) including a feature (60) to be inspected is provided. The system (92) includes a workpiece transport conveyor (26) configured to transport the workpiece (10) in a nonstop manner. The system (92) also includes an illuminator (9) configured to provide a first strobed illumination field type and a second strobed illumination field type. An array of cameras (4) is configured to digitally image the feature, wherein the array of cameras (4) is configured to generate a first image of the feature with the first illumination field and a second image of the feature with the second illumination field. A processing device (90) is operably coupled to the illuminator (9) and the array of cameras (4), the processing device (90) provides an inspection result relative to the feature (60) on the workpiece (10) based, at least in part, upon the first and second images.

摘要翻译： 提供一种用于检查包括要检查的特征（60）的工件（10）的光学检查系统（92）。 系统（92）包括被配置为以不间断方式输送工件（10）的工件传送传送器（26）。 系统（92）还包括被配置为提供第一选通照明场类型和第二选通照明场类型的照明器（9）。 相机阵列（4）被配置为对特征进行数字成像，其中相机阵列（4）被配置为利用第一照明场和具有第二照明场的特征的第二图像来生成特征的第一图像 。 处理装置（90）可操作地耦合到照明器（9）和相机阵列（4），处理装置（90）基于工件（10）提供相对于工件（10）上的特征（60）的检查结果， 至少部分地在第一和第二图像上。