公开(公告)号：US20050200208A1

公开(公告)日：2005-09-15

申请号：US10796291

申请日：2004-03-10

申请人： Sven Johan Hol ,  Henrikus Marie Cox ,  Hernes Jacobs ,  Patricia Vreugdewater ,  Koen Marie Zaal

发明人： Sven Johan Hol ,  Henrikus Marie Cox ,  Hernes Jacobs ,  Patricia Vreugdewater ,  Koen Marie Zaal

IPC分类号： G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H02K41/035 ,  H02K41/00 ,  G03B27/58 ,  H02K13/00

CPC分类号： G03F7/70758 ,  G03F7/70941

摘要： A lithographic apparatus comprising a highly effective Lorentz actuator, is presented. The Lorentz actuator comprises a main magnet system and a subsidiary magnet system arranged in Halbach configuration, an electrically conductive element for producing a force via the interaction of an electric current carried by the electrically conductive element and a resulting field of the first and second magnetic field generated by the main and subsidiary magnet system, respectively. The actuator further comprises a magnetic element extending substantially between outer sides of the first and second magnet system subassemblies. The magnetic element guides a portion of the second, subsidiary field between the first and second magnet system subassemblies.

摘要翻译： 提出了包括高效洛伦兹致动器的光刻设备。 洛伦兹致动器包括以Halbach构造布置的主磁体系统和辅助磁体系统，用于通过由导电元件承载的电流和第一和第二磁场的所得场的相互作用产生力的导电元件 分别由主磁铁系统产生。 致动器还包括基本上在第一和第二磁体系统子组件的外侧之间延伸的磁性元件。 磁性元件引导第一和第二磁体系统子组件之间的第二辅助磁场的一部分。