公开(公告)号：US3208835A

公开(公告)日：1965-09-28

申请号：US10585961

申请日：1961-04-27

Applicant: WESTINGHOUSE ELECTRIC CORP

Inventor： DUNCAN CHARLES S ,  TAYLOR HERBERT L

IPC: C23C4/02 ,  C23C4/08 ,  H01L35/08 ,  H01L35/16

CPC classification number: C23C4/08 ,  C23C4/02 ,  H01L35/08 ,  H01L35/16 ,  Y10S428/926 ,  Y10S428/931 ,  Y10T428/12528 ,  Y10T428/12778 ,  Y10T428/12986

公开(公告)号：US3281270A

公开(公告)日：1966-10-25

申请号：US23208662

申请日：1962-10-22

Applicant: WESTINGHOUSE ELECTRIC CORP

Inventor： CHIKARA HIRAYAMA ,  TAYLOR HERBERT L

IPC: H01L35/32

CPC classification number: H01L35/32

公开(公告)号：US3170813A

公开(公告)日：1965-02-23

申请号：US11114361

申请日：1961-05-19

Applicant: WESTINGHOUSE ELECTRIC CORP

Inventor： DUNCAN CHARLES S ,  TAYLOR HERBERT L

IPC: C23C4/10 ,  C23C26/02 ,  H01L21/00 ,  H01L35/02 ,  H01L35/08

CPC classification number: H01L35/08 ,  C23C4/10 ,  C23C26/02 ,  H01L21/00 ,  H01L35/02