公开(公告)号：US20120237878A1

公开(公告)日：2012-09-20

申请号：US13051884

申请日：2011-03-18

申请人： XIANZHONG ZENG ,  DUJIANG WAN ,  HONGPING YUAN ,  LING WANG ,  MIAO WANG ,  HAI SUN

发明人： XIANZHONG ZENG ,  DUJIANG WAN ,  HONGPING YUAN ,  LING WANG ,  MIAO WANG ,  HAI SUN

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G11B5/3116 ,  G11B5/315 ,  G11B5/3163

摘要： A method for fabricating a magnetic transducer having a nonmagnetic intermediate layer is described. A pole is provided on the intermediate layer. The pole has sides, a bottom, a top wider than the bottom and a leading bevel proximate to an ABS location. A side gap is provided adjacent to at least the sides of the pole. A bottom antireflective coating (BARC) layer is provided on the intermediate layer. The BARC layer is removable using a wet etchant and is adjacent to at least a portion of the side gap. A mask layer is provided on the BARC layer. A pattern is photolithographically transferred into the mask layer, forming a shield mask. Part of the BARC layer is exposed to the wet etchant such that the sides of the pole and the side gap are free of the BARC layer. At least a magnetic side shield is provided.

摘要翻译： 描述了一种用于制造具有非磁性中间层的磁换能器的方法。 在中间层上设置极点。 极具有侧面，底部，比底部更宽的顶部和靠近ABS位置的前斜面。 在极的至少两侧附近提供侧面间隙。 在中间层上提供底部抗反射涂层（BARC）层。 BARC层可以使用湿蚀刻剂去除，并且与侧间隙的至少一部分相邻。 在BARC层上提供掩模层。 将图案光刻地转印到掩模层中，形成屏蔽掩模。 BARC层的一部分暴露于湿蚀刻剂，使得极和侧间隙的边不含BARC层。 至少提供一个磁性侧屏蔽。