公开(公告)号：US6161421A

公开(公告)日：2000-12-19

申请号：US987813

申请日：1997-12-10

申请人： Yean-Kuen Fang ,  Jyhyi Ho ,  C. H. Chen

发明人： Yean-Kuen Fang ,  Jyhyi Ho ,  C. H. Chen

IPC分类号： G01N27/12 ,  G01N33/00 ,  G01N27/00 ,  G01N27/06 ,  H01L29/66

CPC分类号： G01N27/128 ,  G01N33/0047

摘要： The present invention discloses an integrated ethanol gas sensor and fabrication thereof. The present invention utilities micro electro mechanical system (MEMS) technology and has a main sensing part in the form of a cantilever-bridge structure made of SiC thin film material arranged over a silicon substrate. The present invention integrates an SiC heater of comb or finger electrode shape and an SnO.sub.2 thin film gas sensing element applied over distinct portions on the same Si substrate together with Al2O3 and SnO2 thin films via a VLSI technology.

摘要翻译： 本发明公开了一种综合乙醇气体传感器及其制造方法。 本发明实用于微电子机械系统（MEMS）技术，并且具有由硅衬底上的SiC薄膜材料制成的悬臂桥结构形式的主感测部分。 本发明通过VLSI技术将通过梳状或指状电极形状的SiC加热器和SnO 2薄膜气体感测元件与Al 2 O 3和SnO 2薄膜一起施加在同一Si衬底上的不同部分上。