公开(公告)号：US20140197898A1

公开(公告)日：2014-07-17

申请号：US13744064

申请日：2013-01-17

申请人： Ying Hsu ,  Mike Tracy ,  Brian Bircumshaw ,  Ning Chen ,  Salah Uddin

发明人： Ying Hsu ,  Mike Tracy ,  Brian Bircumshaw ,  Ning Chen ,  Salah Uddin

IPC分类号： H03B5/32

CPC分类号： H03H9/2463 ,  H03H2009/02165

摘要： A highly sensitive micro-piezoelectric tunable resonator element and device that uses a tapered transition region from the actuator and sensor elements to the resonator beam to permit maximum mechanical energy transfer to the beam. A dual-resonator beam embodiment with a shared tuning element is provided in an alternative embodiment.

摘要翻译： 一种高灵敏度的微压电可调谐谐振器元件和器件，其使用来自致动器和传感器元件的锥形过渡区域到谐振器束，以允许最大的机械能量传递到光束。 具有共享调谐元件的双谐振器波束实施例在替代实施例中提供。