公开(公告)号：US06727038B1

公开(公告)日：2004-04-27

申请号：US09910130

申请日：2001-07-20

申请人： Ying Hung So ,  Cheryl L. Murlick ,  Daniel M. Scheck ,  Gregory S. Becker ,  Eric S. Moyer

发明人： Ying Hung So ,  Cheryl L. Murlick ,  Daniel M. Scheck ,  Gregory S. Becker ,  Eric S. Moyer

IPC分类号： G03C176

CPC分类号： G03F7/008 ,  G03F7/0755 ,  Y10S430/12 ,  Y10S430/124

摘要： A photodefineable mixture comprising oligomeric divinyltetramethyldisiloxane bisbenzocyclobutene as its major resin component dissolved in mesitylene and at least 2,6-bis(4-azidobenzylidene)-4-ethylcyclohexanone as a photosensitive agent in an amount sufficient to convert the mixture to an organic-insoluble solid upon exposing the mixture to photon radiation is disclosed. These polymer compositions are useful as thin film dielectrics in electronic applications such as multichip modules, integrated circuits and printed circuit boards.

摘要翻译： 一种光可定义的混合物，其包含低聚二乙烯基四甲基二硅氧烷双苯并环丁烯作为其主要的树脂组分溶解在均三甲苯中，至少2,6-双（4-叠氮基亚苄基）-4-乙基环己酮作为感光剂，其用量足以将混合物转化为有机不溶性固体 公开了将混合物暴露于光子辐射时。 这些聚合物组合物可用作诸如多芯片模块，集成电路和印刷电路板的电子应用中的薄膜电介质。