公开(公告)号：US20120329209A1

公开(公告)日：2012-12-27

申请号：US13527741

申请日：2012-06-20

申请人： Yong-Won SONG ,  Jae-Min HONG ,  Jung Ah LIM ,  Hak-Sung KIM ,  Seong-Ji KWON

发明人： Yong-Won SONG ,  Jae-Min HONG ,  Jung Ah LIM ,  Hak-Sung KIM ,  Seong-Ji KWON

IPC分类号： H01L21/368

CPC分类号： H01L21/02521 ,  H01L21/02554 ,  H01L21/02565 ,  H01L21/02573 ,  H01L21/02601 ,  H01L21/02628 ,  H01L29/7869

摘要： Disclosed are a method for forming a metal oxide pattern and a method of manufacturing a thin film transistor using the patterned metal oxide. The method for forming a metal oxide pattern includes: preparing an ink composition including at least one metal oxide precursor or metal oxide nanoparticle, and a solvent; ejecting the ink composition on a substrate to form a pattern on the substrate; and photosintering the formed pattern. Herein, the metal oxide precursor is ionic.

摘要翻译： 公开了一种用于形成金属氧化物图案的方法和使用图案化金属氧化物制造薄膜晶体管的方法。 形成金属氧化物图案的方法包括：制备包含至少一种金属氧化物前体或金属氧化物纳米颗粒的油墨组合物和溶剂; 将油墨组合物喷射在基材上以在基材上形成图案; 并打印形成的图案。 这里，金属氧化物前体是离子型的。