公开(公告)号：US20130221764A1

公开(公告)日：2013-08-29

申请号：US13587101

申请日：2012-08-16

申请人： Yoshihide ISHII ,  Masayuki MOCHIZUKI ,  Yoshihiro KURIHARA

发明人： Yoshihide ISHII ,  Masayuki MOCHIZUKI ,  Yoshihiro KURIHARA

IPC分类号： H02K41/02

CPC分类号： H01L24/75 ,  H01L2224/75702

摘要： A two-shaft drive mechanism includes a processing unit, a first linear motor provided with a first movable portion and a first fixed portion, which elevates the processing unit along a first linear guide, and a second linear motor provided with a second movable portion and a second fixed portion, which moves the processing unit in a horizontal direction vertical to the direction for elevating the processing unit, a support body that fixes the first fixed portion, a second linear guide that is provided between the support body and the second fixed portion, and allows the second fixed portion to freely move, and a control unit that controls a position of the first movable portion in the horizontal direction based on an output of the linear sensor that detects a position of the first movable portion in a horizontal direction with respect to the support body.

摘要翻译： 双轴驱动机构包括处理单元，设置有第一可动部的第一线性马达和第一固定部，第一线性马达沿着第一线性引导件升高处理单元，第二线性马达设置有第二可动部， 第二固定部分，其沿垂直于用于升高处理单元的方向的水平方向移动处理单元;固定第一固定部分的支撑体;设置在支撑体和第二固定部分之间的第二线性引导件 并且允许第二固定部分自由移动;以及控制单元，其基于线性传感器的输出控制第一可移动部分在水平方向上的位置，该线性传感器的输出检测第一可移动部分在水平方向上的位置， 尊重支持机构。