公开(公告)号：US4641603A

公开(公告)日：1987-02-10

申请号：US554824

申请日：1984-02-21

申请人： Yoshihiko Miyazaki ,  Taizan Goto ,  Yoshizo Komiyama ,  Kotei Iwata

发明人： Yoshihiko Miyazaki ,  Taizan Goto ,  Yoshizo Komiyama ,  Kotei Iwata

IPC分类号： C30B25/08 ,  H01L21/205 ,  C23C13/08

CPC分类号： C30B25/08

摘要： An epitaxial growing apparatus comprises a base plate, a quartz bell jar mounted on the base plate, and a reaction chamber defined by the base plate and the quartz bell jar, in which an epitaxial thin film layer of a semiconductor substance is formed on the substrate mounted on a support member. A metal bell jar is disposed outside the quartz bell jar so as to surround the quartz bell jar and a plurality of engaging members are operatively connected to the metal bell jar for detachably engaging the metal bell jar with the quartz bell jar.

摘要翻译： 外延生长装置包括基板，安装在基板上的石英钟罩和由基板和石英钟罩限定的反应室，其中半导体物质的外延薄膜层形成在基板上 安装在支撑构件上。 将金属钟形钟设置在石英钟罩之外，以围绕石英钟罩，并且多个接合构件可操作地连接到金属钟罩，用于将金属钟罩与石英钟罩可拆卸地接合。

公开(公告)号：US4568799A

公开(公告)日：1986-02-04

申请号：US654803

申请日：1984-09-25

申请人： Tadashi Kobayashi ,  Yoshihiko Miyazaki

发明人： Tadashi Kobayashi ,  Yoshihiko Miyazaki

IPC分类号： G06F3/038 ,  G06F3/046 ,  G08C21/00

CPC分类号： G06F3/046 ,  G06F3/0383

摘要： A graphic input device for converting a character, a diagram or like pattern entered by hand to an electric signal. A pen for entering the pattern has a winding therein which is fixed in a predetermined position which is not close to the tip of the pen. This allows a minimum of error due to inclination of the pen to be introduced into a value which is indicated by a coordinate signal when the pattern is entered.

摘要翻译： 一种图形输入装置，用于将手动输入的字符，图表或类似图案转换为电信号。 用于进入图案的笔具有卷绕在其中的固定在不靠近笔尖的预定位置。 这允许由于笔的倾斜而导致的误差最小，当输入图案时由坐标信号指示的值。