公开(公告)号：US06750750B2

公开(公告)日：2004-06-15

申请号：US10040765

申请日：2001-12-28

申请人： Zhang Jiong ,  Yi Min Wang ,  Shao-fu Sanford Chu

发明人： Zhang Jiong ,  Yi Min Wang ,  Shao-fu Sanford Chu

IPC分类号： H01F500

CPC分类号： H01L28/10 ,  H01L27/08 ,  Y10T29/4902

摘要： A spiral inductor, and manufacturing method therefore, is provided including a substrate and an inductor dielectric layer over the substrate having a spiral opening provided therein. A spiral inductor is in the spiral opening with the spiral inductor including a plurality of parallel spiral vias connected together at center proximate and center distal ends of the spiral inductor.

摘要翻译： 因此，提供了一种螺旋电感器及其制造方法，其包括在其上设置有螺旋形开口的基板上的基板和电感器电介质层。 螺旋电感器处于螺旋形开口中，螺旋电感器包括在螺旋电感器的中心近端和中心远端处连接在一起的多个平行螺旋通孔。