公开(公告)号：US20140290331A1

公开(公告)日：2014-10-02

申请号：US14222575

申请日：2014-03-21

Applicant: mCube Inc.

Inventor： Raymond Merrill, JR. ,  David Paul Jensen

IPC: B81C99/00 ,  G01N19/02 ,  G01P13/00

CPC classification number: G01N19/02 ,  B81C99/005

Abstract: A wafer level centrifuge (WLC) system and method of testing MEMS devices using the system. The wafer level centrifuge (WLC) system can include a base centrifuge system and a cassette mounting hub coupled to the base centrifuge system. The method can include applying a smooth and continuous acceleration profile to two or more MEMS wafers via the base centrifuge system. Each of the two or more MEMS wafers can have one or more MEMS devices formed thereon. The two or more MEMS wafers can be provided in two or more wafer holding cassettes configured on the cassette mounting hub. The method can also include identifying one or more target MEMS wafers, which can include identifying stiction in one or more MEMS devices on the one or more MEMS wafers.

Abstract translation: 晶圆级离心机（WLC）系统和使用该系统测试MEMS器件的方法。 晶片级离心机（WLC）系统可以包括基础离心机系统和联接到基础离心机系统的盒式安装毂。 该方法可以包括通过基本离心机系统向两个或更多个MEMS晶片施加平滑且连续的加速度曲线。 两个或更多个MEMS晶片中的每一个可以具有形成在其上的一个或多个MEMS器件。 两个或更多个MEMS晶片可以设置在配置在盒安装毂上的两个或更多个晶片保持盒中。 该方法还可以包括识别一个或多个目标MEMS晶片，其可以包括识别一个或多个MEMS晶片上的一个或多个MEMS器件中的静摩擦。