公开(公告)号：US06767627B2

公开(公告)日：2004-07-27

申请号：US10321462

申请日：2002-12-18

申请人： Yasuomi Morikawa ,  Toshiki Sato ,  Hirofumi Fujii

发明人： Yasuomi Morikawa ,  Toshiki Sato ,  Hirofumi Fujii

IPC分类号： B32S700

CPC分类号： C23C14/024 ,  C23C14/081 ,  C23C28/04 ,  Y10T428/12785 ,  Y10T428/24975 ,  Y10T428/265

摘要： A hard film comprises an oxide film of corundum crystal structure having a lattice constant in the range of 4.779 to 5.000 Å and a thickness not smaller than 0.005 &mgr;m, and an alumina film of corundum crystal structure formed on one of surfaces of the oxide film. The oxide film is formed of Cr2O3, (Fe, Cr)2O3 or (Al, Cr)2O3. The alumina film excellent in heat resistance and wear resistance can be formed on a base object under a low-temperature condition that will not deteriorate the characteristics of the base object.

摘要翻译： 硬膜包括刚性晶体结构的氧化物膜，其晶格常数在4.779〜5.000的范围内，厚度不小于0.005μm，并且在氧化物膜的一个表面上形成刚玉晶体结构的氧化铝膜。 氧化膜由Cr2O3，（Fe，Cr）2O3或（Al，Cr）2O3形成。 耐热性和耐磨性优异的氧化铝膜可以在不会劣化基材的特性的低温条件下在基材上形成。