公开(公告)号：US06693949B1

公开(公告)日：2004-02-17

申请号：US09980160

申请日：2002-02-28

申请人： Manfred Schubert ,  Peter Starke

发明人： Manfred Schubert ,  Peter Starke

IPC分类号： F27D900

CPC分类号： F27B3/24 ,  F27D19/00 ,  F27D2009/0008

摘要： The aim of the invention is to provide a means of also cooling the lower part of electric arc furnaces and/or resistance furnaces. To this end, said lower part—the actual melting vessel (4)—is surrounded with a jacket (9) at a certain distance, forming a shell, and the resulting intermediate space is configured as a cooling device (10) and subjected to the action of a cooling medium (14).

摘要翻译： 本发明的目的是提供一种还冷却电弧炉和/或电阻炉的下部的装置。 为此，所述下部 - 实际的熔化容器（4） - 以一定的距离用夹套（9）围绕，形成壳体，并且所得到的中间空间被配置为冷却装置（10）并经受 冷却介质（14）的作用。

公开(公告)号：US06427462B1

公开(公告)日：2002-08-06

申请号：US09669908

申请日：2000-09-27

申请人： Osamu Suenaga ,  Tadahiro Ohmi ,  Sadao Kobayashi

发明人： Osamu Suenaga ,  Tadahiro Ohmi ,  Sadao Kobayashi

IPC分类号： F27D900

CPC分类号： H01L21/67109 ,  Y02P80/156

摘要： A heat generating part (1) of semiconductor manufacturing equipment is cooled by cooling water. An inner fluid passage (21) having an inlet port (31) of the cooling water on a vertically lower portion thereof is formed so as to surround a periphery of the heat generating part (1). An outer fluid passage (22) having an outlet port (32) of the cooling water on a vertically upper portion thereof is formed so as to surround a periphery of the inner fluid passage (21) and be capable of exchanging heat with the cooling water in the inner fluid passage. A communication passage (24) is provided to connect a vertically upper portion of said inner fluid passage and a vertically lower portion of said outer fluid passage. The cooling water flowing out of the outlet port (32) of the outer fluid passage (22) is supplied to the inlet port (31) of the inner fluid passage (21).

摘要翻译： 半导体制造设备的发热部件（1）由冷却水冷却。 在其垂直下部具有冷却水的入口（31）的内部流体通道（21）形成为围绕发热部（1）的周边。 形成有在其上部上具有冷却水的出口（32）的外部流体通道（22），以便围绕内部流体通道（21）的周边并且能够与冷却水进行热交换 在内部流体通道中。 连通通道（24）设置成连接所述内部流体通道的垂直上部和所述外部流体通道的垂直下部。 从外部流路（22）的出口（32）流出的冷却水被供给到内部流体通路（21）的入口（31）。

公开(公告)号：US06644963B1

公开(公告)日：2003-11-11

申请号：US09625857

申请日：2000-07-26

申请人： Yoshitsugu Yamada

发明人： Yoshitsugu Yamada

IPC分类号： F27D900

CPC分类号： F27D9/00 ,  F27B17/0016 ,  F27D7/02 ,  F27D2003/0075 ,  F27D2009/0005 ,  F27D2099/0008

摘要： A novel batch-type kiln and a method of use thereof are provided. The kiln comprises a kiln body and a heating chamber disposed within the kiln body, which has a heater disposed therein. A table is disposed at the bottom of the heating chamber, the table having a peripheral portion and an upper surface for supporting an object to be treated. The peripheral portion of the table and a portion of the kiln body define a gap therebetween. This gap forms a gas-introducing path for introducing a gas into the heating chamber. The batch-type kiln is capable of preventing accumulation of a binder component in the gap between the table and the kiln wall.

摘要翻译： 提供了一种新型的分批式窑及其使用方法。 该窑炉包括窑体和设置在窑体内的加热室，其具有设置在其中的加热器。 桌子设置在加热室的底部，桌子具有用于支撑待处理物体的周边部分和上表面。 桌子的周边部分和窑体的一部分在它们之间限定了间隙。 该间隙形成用于将气体引入加热室的气体导入路径。 分批式窑能够防止粘结剂组分在工作台和窑壁之间的间隙中积聚。