公开(公告)号：US07667373B2

公开(公告)日：2010-02-23

申请号：US12469153

申请日：2009-05-20

申请人： Hideaki Mukae ,  Yusuke Adachi

发明人： Hideaki Mukae ,  Yusuke Adachi

IPC分类号： H01I41/09

CPC分类号： H02N2/028 ,  H01L41/0913 ,  H02N2/004 ,  H02N2/026

摘要： A drive unit (1) includes a stage (3), a first ultrasonic actuator (4A) for driving the stage (3) in the X direction, and a second ultrasonic actuator (4B) for driving the stage (3) in the Y direction. In driving the stage (3) in only one of the X and Y directions, one of the first and second ultrasonic actuators (4A, 4B) corresponding to the one of the directions generates a composite vibration of a longitudinal vibration parallel to a contact surface of the stage (3) and a bending vibration orthogonal to the contact surface, while the other ultrasonic actuator generates only a longitudinal vibration parallel to the contact surface of the stage (3).

摘要翻译： 驱动单元（1）包括用于在X方向上驱动载物台（3）的载物台（3），第一超声波致动器（4A）和用于驱动载物台（3）的Y 方向。 在仅在X和Y方向中的一个方向上驱动载物台（3）时，与其中一个方向相对应的第一和第二超声波致动器（4A，4B）中的一个产生平行于接触表面的纵向振动的复合振动 （3）的弯曲振动和与接触面正交的弯曲振动，而另一个超声波致动器仅产生平行于载物台（3）的接触表面的纵向振动。