公开(公告)号：WO2010106785A1

公开(公告)日：2010-09-23

申请号：PCT/JP2010/001840

申请日：2010-03-15

Applicant: 芝浦メカトロニクス株式会社 ,  田部聖裕

Inventor： 田部聖裕

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67742 ,  H01L21/67259

Abstract: 収納部内の基板が正常な位置に保持されていなくても、正常な位置に置き直し、その後、通常の取出し動作が可能な基板搬送装置及び基板搬送方法を提供する。基板（Ｓ）を収納する収納部（１）と、収納部（１）内に基板（Ｓ）を支持する横支持部（１１）及び奥支持部（１２）と、基板（Ｓ）を収納部から引き出す移動部（２）と、移動部（２）を駆動する駆動機構（２１ａ）と、基板（Ｓ）の支持位置のずれに基づく異常を検出するセンサ（１３）と、センサ（１３）により異常が検出された場合に、移動部（２）を、基板（Ｓ）のずれを戻し且つ基板（Ｓ）から離れる方向に移動させることにより、基板（Ｓ）を正常な位置に支持させるように、駆動機構（２１ａ）を制御する制御装置（１００）と、を有する。

Abstract translation: 提供了一种基板转印装置和基板转印方法，其中即使壳体部件中的基板未保持在正常位置，可以在正常位置更换基板，然后可以执行正常的取出操作 。 具体而言，基板转印装置包括用于容纳基板（S）的壳体部（1），用于将基板（S）支撑在壳体部分（1）中的侧支撑部分（11）和后支撑部分（12） ，用于从所述壳体部分拉出所述基板（S）的移动部件（2），用于驱动所述移动部件（2）的驱动机构（21a），用于基于所述支撑件的位移检测异常的传感器（13） 基板（S）的位置和用于控制驱动机构（21a）的控制器（100），使得通过使移动部件（2）沿排除位移的方向移动而将基板（S）支撑在正常位置 的基板（S），并且当传感器（13）检测到异常时，离开基板（S）。