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公开(公告)号：WO2020246449A1
公开(公告)日：2020-12-10
申请号：PCT/JP2020/021712
申请日：2020-06-02
Applicant: 芝浦メカトロニクス株式会社
Inventor： 小野 大祐
Abstract: 光学特性の悪化を抑制した平坦な膜を形成することのできる成膜装置を提供する。ワーク１０上に膜を形成する成膜装置であって、ワーク１０を循環搬送する回転テーブル３１を有する搬送部３０と、膜を構成する材料からなるターゲット４２と、ターゲット４２と回転テーブル３１との間に導入されたスパッタガスをプラズマ化するプラズマ発生器とを有し、プラズマによりターゲット４２をスパッタリングしてワーク１０上に膜を形成する成膜処理部４０と、イオンを照射するイオン照射部６０と、を備え、搬送部３０は、成膜処理部４０とイオン照射部６０とを通過するようにワーク１０を循環搬送し、イオン照射部６０は、ワーク１０上の形成途中の膜にイオンを照射する。
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公开(公告)号：WO2019117250A1
公开(公告)日：2019-06-20
申请号：PCT/JP2018/045879
申请日：2018-12-13
Applicant: 芝浦メカトロニクス株式会社
Abstract: 実施形態に係る有機膜形成装置は、大気圧よりも減圧された雰囲気を維持可能なチャンバと、前記チャンバの内部に設けられ、カバーにより囲まれる少なくとも１つの処理室と、前記チャンバの内部を排気可能な排気部と、を備えている。前記処理室には、少なくとも１つの第１のヒータを有する上部加熱部と、少なくとも１つの第２のヒータを有し、前記上部加熱部と対峙する下部加熱部と、基板と、前記基板の上面に塗布された有機材料と溶媒とを含む溶液と、を有するワークを前記上部加熱部と前記下部加熱部との間に支持可能なワーク支持部と、が設けられている。前記処理室は、前記チャンバに連通した空間を有している。前記排気部は、前記チャンバの内部の圧力を減圧するとともに、前記チャンバの内壁と前記カバーとの間の空間の圧力を減圧する。
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公开(公告)号：WO2018181105A1
公开(公告)日：2018-10-04
申请号：PCT/JP2018/011993
申请日：2018-03-26
Applicant: 芝浦メカトロニクス株式会社
Abstract: 【課題】微細穴が形成されたヒータ管からの気体のリークを確実に検出することのできるヒータ管の気体リーク検出装置及びヒータ管の気体リーク検出方法を提供することである。 【解決手段】実施形態によれば、ヒータ体を収容した内管１０ａと、この内管を包囲して密閉された外管１０ｂとを備え、配管３０を介して圧力調整機構２０により外管１０ｂと内管１０ａとの間の空間の気体圧力が所定圧力値に調整される、ヒータ管１０の気体リーク検出装置であって、配管３０に設けられ、局所的に気体を流れ難くさせる気体流れ抵抗部２１（２１３）と、配管３０における気体流れ抵抗部２１とヒータ管１０との間において外管１０ｂと内管１０ａとの間の空間の気体圧力を検出する圧力検出ユニット２３と、圧力検出ユニット２３にて得られる検出圧力値に基づいてヒータ管１０から気体がリークしているか否かを判定するリーク判定手段５０と、を有する。
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公开(公告)号：WO2018021440A1
公开(公告)日：2018-02-01
申请号：PCT/JP2017/027115
申请日：2017-07-26
Applicant: 芝浦メカトロニクス株式会社
Abstract: 錠剤分割の作業性及び錠剤の等分確認の正確性を向上させることができる錠剤印刷装置、錠剤及び錠剤製造方法を提供する。実施形態に係る錠剤印刷装置は、錠剤（Ｔ）を搬送する搬送部と、その搬送部により搬送される錠剤（Ｔ）に対し、錠剤（Ｔ）を分割するときの分割許容領域を示す図形（Ｂ１）を印刷する印刷部とを備える。これにより、錠剤分割の作業性を向上させることができ、さらに、錠剤（Ｔ）の等分確認の正確性を向上させることができる。
Abstract translation: 提供了能够改善分割片的可加工性和确保片剂的等同性的准确性的片剂印刷设备，片剂和片剂制造方法。 根据本实施例，用于输送片剂（T），相对于由所述输送单元，输送数字片剂（T）表示分割容许区域分割片剂（T）时的传送单元的片剂打印装置（ B 1）被打印。 这使得可以改善分割片剂的可操作性并进一步提高片剂（T）的等分确认的准确性。
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公开(公告)号：WO2017110625A1
公开(公告)日：2017-06-29
申请号：PCT/JP2016/087251
申请日：2016-12-14
Applicant: 芝浦メカトロニクス株式会社
Inventor： 岡部 由孝
Abstract: 実施形態に係る錠剤印刷装置は、錠剤を搬送する搬送ベルト２１と、搬送ベルト２１上の錠剤を吸引して搬送ベルト２１上に保持し、かつ、搬送ベルト２１が錠剤を搬送することが可能に搬送ベルト２１を吸引する第１の吸引経路Ｃ１と、第１の吸引経路Ｃ１と別の経路であり、搬送ベルト２１が錠剤を搬送することが可能に搬送ベルト２１だけを吸引する第２の吸引経路Ｃ２と、搬送ベルト２１上の錠剤に印刷を行う印刷装置とを備える。
Abstract translation: 根据
实施例中，用于传送片剂传送带21，并通过在传送带21吸吮片剂在传送带21保持，并且传送带平板印刷装置21 用于吸入第一吸入通路C1可以输送皮带21输送的片，不同的路线与第一抽吸通道C1，运输可以传送带21传送的片剂带21 用于仅吸取传送带21上的药片的第二吸取路径C2以及用于在传送带21上的片剂上打印的打印装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2017057726A1
公开(公告)日：2017-04-06
申请号：PCT/JP2016/079112
申请日：2016-09-30
Applicant: 芝浦メカトロニクス株式会社
IPC: H05B3/00 , G05D23/22 , H01L21/027
CPC classification number: G05D23/22 , H01L21/027 , H05B3/00
Abstract: 石英プレート５０を加熱するヒータ８０と、石英プレート５０の温度を検出する熱電対６０と、熱電対６０から出力される温度情報値に基づいて石英プレート５０の温度を目標温度値Ｔｘとするようにヒータ８０を制御するヒータ制御部１００において、熱電対６０は石英プレート５０に４つ設けられ、４つの熱電対６０から温度情報値が入力され、入力された温度情報値群のうち、最小値の温度情報値を除いた残りの温度情報値を用いて代表温度値Ｔを求める前処理ユニット１１０と、代表温度値Ｔが目標温度値Ｔｘとなるようにヒータ８０を制御するフィードバック制御部１０４とを有する。
Abstract translation: 本发明包括：加热石英板50的加热器80; 检测石英板50的温度的热电偶60; 以及加热器控制单元100，其根据从热电偶60输出的温度信息值来控制加热器80以将石英板50的温度设定为目标温度值Tx，其中在热电偶60中设置四个热电偶60 石英板50，从四个热电偶60输入温度信息值，预处理单元110通过使用输入的温度信息值组确定在最小温度信息值之后保持的温度信息值为代表温度值T 并且反馈控制单元104控制加热器80使得代表温度值T变得等于目标温度值Tx。
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公开(公告)号：WO2016159310A1
公开(公告)日：2016-10-06
申请号：PCT/JP2016/060820
申请日：2016-03-31
Applicant: 芝浦メカトロニクス株式会社 , 株式会社 東芝
IPC: B29C33/38 , B29C59/02 , H01L21/027
CPC classification number: B29C33/38 , B29C59/02 , H01L21/027
Abstract: 実施形態に係るインプリント用のテンプレート製造装置１は、主面を有する基体１１と、主面上に設けられ、主面と反対側の端面を有し、凹凸パターンがその端面に形成された凸部１２とを具備するテンプレートＷを、凸部１２を下方に向けて支持する支持部３と、支持部３上のテンプレートＷの下方に設けられ、撥液材を気化させる気化部５と、支持部３上のテンプレートＷの下方に設けられ、気化した撥液材が支持部３上のテンプレートＷの凸部１２の側面に付着することを許し、凹凸パターンに付着することを防止する防着板７とを備える。
Abstract translation: 根据一个实施例的压印模板生产装置1设置有：支撑部分3，其支撑具有主表面的基板11的模板W和设置在主表面上的突出部分12，并且具有 所述端面与所述主表面相对的一侧，在所述端面上形成凹凸图案，使得所述突出部12面向下方; 蒸发部分5，其设置在模板W下方的支撑部分3上并使拒液材料汽化; 以及设置在模板W的下方的支撑部3上的防粘连板7，能够将蒸发的排斥液粘附在支撑部3上的模板W的突出部12的侧面，防止粘附 到凹凸图案。
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公开(公告)号：WO2015141476A1
公开(公告)日：2015-09-24
申请号：PCT/JP2015/056472
申请日：2015-03-05
Applicant: 芝浦メカトロニクス株式会社
IPC: G09F9/00 , G02F1/13 , G02F1/1333
CPC classification number: G02F1/1303 , G02F1/133308 , G02F2001/133331 , G02F2202/28
Abstract: 接着剤の縁部とワークとの間に生じる隙間を充填することを目的とする。表示装置用部材の製造装置（１００）は、液晶パネル（Ｓ１）上に接着剤（Ｒ）を面状に塗布して接着層（Ｒ１）を形成する接着剤塗布装置（１）と、液晶パネル（Ｓ１）又はカバーパネル（Ｓ２）に補充用接着剤（Ｒ１０）を供給する接着剤補充部（６）と、液晶パネル（Ｓ１）及びカバーパネル（Ｓ２）を接着層（Ｒ１）を介して貼り合わせる貼合装置（２）と、を備える。接着剤補充部（６）は、貼合装置（２）において貼り合わされる液晶パネル（Ｓ１）及びカバーパネル（Ｓ２）において、前記接着層（Ｒ１）の縁部の少なくとも一部とカバーパネル（Ｓ２）との間に生じる隙間を充填する補充用接着剤（Ｒ１０）を供給する。
Abstract translation: 本发明的目的是填充在粘合剂端部和工件之间形成的间隙。 一种用于显示装置构件的制造装置（100）设置有用于在液晶面板（S1）上以平面形状施加粘合剂（R）并形成粘合剂层（R1）的粘合剂施加装置（1）， 用于将补充粘合剂（R10）供应到液晶面板（S1）或盖板（S2）的粘合剂补充单元（6）以及用于将液晶面板（S1）和盖板 （S2）经由粘合剂层（R1）。 粘合剂补充单元（6）提供补充粘合剂（R10），以便当液晶面板（7）的表面上填充形成在粘合剂层（R1）的端部的至少一部分和盖板（S2） S1）和盖板（S2）通过接合装置（2）接合。
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公开(公告)号：WO2010113880A1
公开(公告)日：2010-10-07
申请号：PCT/JP2010/055578
申请日：2010-03-29
Applicant: 芝浦メカトロニクス株式会社 , 小山 博隆
Inventor： 小山 博隆
IPC: H01L31/04
CPC classification number: H01L31/05 , H01L31/022425 , H01L31/022466 , H01L31/028 , H01L31/0322 , H01L31/03762 , H01L31/0392 , H01L31/072 , Y02E10/541 , Y02E10/547 , Y02E10/548 , Y02P70/521
Abstract: 薄膜太陽電池及びそれを製造する製造装置の低コスト化、薄膜太陽電池の品質向上、薄膜太陽電池の発電効率の向上を図る。 基板上に、第１の電極膜を減圧雰囲気下で形成し、その後、大気に曝すことなく、前記第１の電極膜上に、光電変換層を減圧雰囲気下で形成し、その後大気に曝すことなく、前記光電変換層上に、第２の電極膜を減圧雰囲気下で形成して、積層膜を形成する工程と、前記積層膜を分断して、前記基板上に併設された複数の太陽電池セルを形成する工程と、前記複数の太陽電池セルのうちの第１の太陽電池セルの前記第２の電極膜及び前記光電変換層を選択的に除去して、前記第１の電極膜を表出させ、前記第１の太陽電池セルに隣接する第２の太陽電池セルの前記第２の金属膜と、表出させた前記第１の電極膜と、を電気的に接続する製造方法が提供される。
Abstract translation: 本发明的目的是降低薄膜太阳能电池的成本和制造太阳能电池的装置的成本，提高薄膜太阳能电池的质量，并提高薄膜太阳能电池的发电效率 薄膜太阳能电池。 具体公开了一种制造飙升电池的方法，包括：在减压气氛中在基板上形成第一电极膜的步骤，然后在减压气氛中的第一电极膜上形成光电转换层 而不将第一电极膜暴露在大气中，然后在减压气氛中在光电转换层上形成第二电极膜，而不将光电转换层暴露在大气中，从而形成多层膜; 分离多层膜的步骤，从而形成并排设置在基板上的多个太阳能电池单元; 并且选择性地去除多个太阳能电池单元中的第一太阳能电池单元的第二电极膜和光电转换层，从而暴露第一电极膜和第二太阳能电池单元的第二金属膜的步骤 与第一太阳能电池单元相邻的电极与暴露的第一电极膜电连接。
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公开(公告)号：WO2010106785A1
公开(公告)日：2010-09-23
申请号：PCT/JP2010/001840
申请日：2010-03-15
Applicant: 芝浦メカトロニクス株式会社 , 田部聖裕
Inventor： 田部聖裕
IPC: H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67742 , H01L21/67259
Abstract: 収納部内の基板が正常な位置に保持されていなくても、正常な位置に置き直し、その後、通常の取出し動作が可能な基板搬送装置及び基板搬送方法を提供する。基板（Ｓ）を収納する収納部（１）と、収納部（１）内に基板（Ｓ）を支持する横支持部（１１）及び奥支持部（１２）と、基板（Ｓ）を収納部から引き出す移動部（２）と、移動部（２）を駆動する駆動機構（２１ａ）と、基板（Ｓ）の支持位置のずれに基づく異常を検出するセンサ（１３）と、センサ（１３）により異常が検出された場合に、移動部（２）を、基板（Ｓ）のずれを戻し且つ基板（Ｓ）から離れる方向に移動させることにより、基板（Ｓ）を正常な位置に支持させるように、駆動機構（２１ａ）を制御する制御装置（１００）と、を有する。
Abstract translation: 提供了一种基板转印装置和基板转印方法，其中即使壳体部件中的基板未保持在正常位置，可以在正常位置更换基板，然后可以执行正常的取出操作 。 具体而言，基板转印装置包括用于容纳基板（S）的壳体部（1），用于将基板（S）支撑在壳体部分（1）中的侧支撑部分（11）和后支撑部分（12） ，用于从所述壳体部分拉出所述基板（S）的移动部件（2），用于驱动所述移动部件（2）的驱动机构（21a），用于基于所述支撑件的位移检测异常的传感器（13） 基板（S）的位置和用于控制驱动机构（21a）的控制器（100），使得通过使移动部件（2）沿排除位移的方向移动而将基板（S）支撑在正常位置 的基板（S），并且当传感器（13）检测到异常时，离开基板（S）。
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